روکش SiCبخش نیمه ماه گرافیتییک جزء کلیدی مورد استفاده در فرآیندهای تولید نیمههادی، به ویژه برای تجهیزات اپیتاکسیال SiC است. ما از فناوری ثبت اختراع شده خود برای ساخت قطعه نیمدایره با خلوص بسیار بالا، یکنواختی پوشش خوب و عمر مفید عالی و همچنین مقاومت شیمیایی بالا و خواص پایداری حرارتی استفاده میکنیم.
