ویژگیها و مزایا
۱. ابعاد دقیق و پایداری حرارتی
2. سختی خاص بالا و یکنواختی حرارتی عالی، استفاده طولانی مدت آسان نیست که تغییر شکل خم شود.
۳. دارای سطح صاف و مقاومت سایشی خوبی است، بنابراین با خیال راحت تراشه را بدون آلودگی ذرات جابجا میکند.
۴. مقاومت ویژه کاربید سیلیکون در محدوده ۱۰۶-۱۰۸ اهم، غیر مغناطیسی، مطابق با الزامات مشخصات ضد ESD؛ میتواند از تجمع الکتریسیته ساکن روی سطح تراشه جلوگیری کند.
5. رسانایی حرارتی خوب، ضریب انبساط کم.
