معرفی حامل ویفر
دسته بندی محصولات
▶سیستم حامل ویفر برای فرآیند PECVD و TALOX
• قایق گرافیتی PECVD و TALOX (M4 ~ M12)
• قایق عمودی SM (M4، M6)
• قطعه گرافیتی ایمپلنت و دوش (M4~M6)
• سینی C/C و پوشش سرامیکی
• سینی فلزی RIE و پوشش سرامیکی
• آببندی وکیوم: اورینگ و اسکیو-رینگ
▶فرآیند انتقال بافت و اچینگ مرطوب
• LSC H-Carrier یا کاست (M4~M12)
• LSC V-Carrier یا کاست (M4 ~ M12)
• حامل یا کاست ASC (M4، M6)
• جعبه حمل و نگهداری بدون دسته (M4~M12)
• سری چرخهای حمل و نقل (غلتکی)
▶حامل سلول خورشیدی و حامل فلزی
• حامل یا کاست TRC (M4~M12)
• مجله (با کمربند)
قایق گرافیتی (نوع H)
19P6-216CT (WF M4 ~ M12)
قایق گرافیتی (نوع H)
21P6-240CT WF M4 ~ M12)
قایق گرافیتی (نوع H)
23P7-308CT (عرض/عرض M4 ~ M12)
قایق گرافیتی (نوع H)
22P/7-294TP (عرض/عرض M4~M12)
قایق گرافیتی (نوع H)
W182-22P7-294CT (با M12)
W182-21P6-240CT (با M12)
جعبه حمل و نگهداری WF (~M12)
سینی یا محفظه نگهدارنده C/C (M4 ~ M10)
سینی یا محفظه نگهدارنده C/C (M4 ~ M10)
قایق عمودی (SM) M6
حامل LSC-H (~M12)
LSC-V-حامل (~M12)
حامل ASC (~M6)
حامل TRC (~M12)
حامل TRC (~M12)
قایق گرافیتی (M12)
سیستم حامل ویفر برای فرآیند PECVD
▶ قایق گرافیتی (طراحی شده توسط CT) فرآیند M10/M12
• طراحی ویژه
▶ قایق گرافیتی (طراحی شده توسط CT) فرآیند M4/M6
▶ قطعات جانبی قایق
▶ قایق عمودی - ویفر ۱۶۱.۷ میلیمتری
▶ قایق عمودی - ویفر ۱۶۶ میلیمتری
▶ قایق عمودی - 161.7 میلیمتر، ویفر 166 میلیمتری
حامل سلول خورشیدی و حامل TRC فلزی
نوع: اتوماسیون
اندازه ویفر: ① 156×156 میلیمتر ② 156.75×156.75 میلیمتر
۱۶۱.۷x۱۶۱.۷ میلیمتر ۱۶۶x۱۶۶ میلیمتر
⑤ ۱۸۰ × ۱۸۰ میلیمتر ⑥ ۲۱۰ × ۲۱۰ میلیمتر
استفاده: حمل (کاست)
ظرفیت: ۱۰۰ برگ
گام: ۴.۷۶ میلیمتر / ۵.۹۵۳ میلیمتر / ۶.۳۵ میلیمتر
ابعاد: تقریباً ۵۵۹×۲۲۰×۲۲۰ میلیمتر
تقریباً 712×260×260 میلیمتر
مزیت: اتمسفر
جنس: شعله، میله کناری - آلومینیوم (آنودایزینگ)
پلیت جانبی-POM (آنتی استاتیک)
پوشش میلگرد پایینی-EPDM/PU/VITON (ASE)
حامل فلزی TRC (خط کاربر)
حامل فلزی TRC (خط کاربر)
حامل فلزی TRC (خط کاربر)
صفحه دوش و ایمپلنت، حامل
