بخاری های گرافیتی با روکش SiC سفارشی برای ویفرهای نیمه هادی

توضیح کوتاه:

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. یک تامین کننده پیشرو در سرامیک های نیمه هادی پیشرفته و تنها سازنده در چین است که می تواند به طور همزمان سرامیک کاربید سیلیکون با خلوص بالا (به ویژهتبلور مجدد SiC) و پوشش CVD SiC.علاوه بر این، شرکت ما به زمینه های سرامیکی مانند آلومینا، نیترید آلومینیوم، زیرکونیا و نیترید سیلیکون و غیره متعهد است.


جزئیات محصول

برچسب های محصول

ویژگی های اصلی بخاری گرافیتی:

1. یکنواختی ساختار گرمایش.

2. هدایت الکتریکی خوب و بار الکتریکی بالا.

3. مقاومت در برابر خوردگی.

4. غیر اکسیدی بودن

5. خلوص شیمیایی بالا.

6. استحکام مکانیکی بالا.

مزیت کارآمد انرژی، ارزش بالا و نگهداری کم است.ما می توانیم بوته گرافیتی ضد اکسیداسیون و طول عمر طولانی، قالب گرافیت و تمام قسمت های بخاری گرافیت تولید کنیم.

بخاری گرافیتی (4)

پارامترهای اصلی بخاری گرافیت

مشخصات فنی

Semicera-M3

چگالی ظاهری (g/cm3)

≥1.85

محتوای خاکستر (PPM)

≤500

سختی ساحل

≥45

مقاومت ویژه (μ.Ω.m)

≤12

قدرت خمشی (Mpa)

≥40

مقاومت فشاری (Mpa)

≥70

حداکثراندازه دانه (μm)

≤43

ضریب انبساط حرارتی Mm/°C

≤4.4*10-6


  • قبلی:
  • بعد: