Semicera'sزیرلایه آلومینیومی M-plane غیرقطبی 10x10mmبا دقت طراحی شده است تا نیازهای دقیق کاربردهای الکترونیک نوری پیشرفته را برآورده کند. این زیرلایه دارای جهت گیری صفحه M غیر قطبی است که برای کاهش اثرات قطبش در دستگاه هایی مانند LED ها و دیودهای لیزری حیاتی است که منجر به افزایش کارایی و کارایی می شود.
اینزیرلایه آلومینیومی M-plane غیرقطبی 10x10mmبا کیفیت کریستالی استثنایی ساخته شده است که حداقل تراکم نقص و یکپارچگی ساختاری برتر را تضمین می کند. این باعث می شود که آن را به یک انتخاب ایده آل برای رشد همپایی فیلم های III-نیترید با کیفیت بالا که برای توسعه نسل بعدی دستگاه های اپتوالکترونیک ضروری هستند تبدیل کند.
مهندسی دقیق Semicera تضمین می کند که هر یکزیرلایه آلومینیومی M-plane غیرقطبی 10x10mmضخامت و صافی سطح ثابتی را ارائه می دهد که برای رسوب یکنواخت فیلم و ساخت دستگاه بسیار مهم است. علاوه بر این، اندازه فشرده زیرلایه، آن را هم برای محیط های تحقیقاتی و هم برای محیط های تولیدی مناسب می کند و امکان استفاده انعطاف پذیر در کاربردهای مختلف را فراهم می کند. این بستر با پایداری حرارتی و شیمیایی عالی خود، پایه ای قابل اعتماد برای توسعه فناوری های اپتوالکترونیکی پیشرفته فراهم می کند.
| موارد | تولید | تحقیق کنید | ساختگی |
| پارامترهای کریستال | |||
| چند تایپ | 4H | ||
| خطای جهت گیری سطح | <11-20 > 0.15±4 درجه | ||
| پارامترهای الکتریکی | |||
| دوپانت | نیتروژن نوع n | ||
| مقاومت | 0.015-0.025 اهم · سانتی متر | ||
| پارامترهای مکانیکی | |||
| قطر | 0.2±150.0 میلی متر | ||
| ضخامت | 25±350 میکرومتر | ||
| جهت گیری مسطح اولیه | [1-100] ± 5 درجه | ||
| طول تخت اولیه | 47.5±1.5 میلی متر | ||
| آپارتمان ثانویه | هیچ کدام | ||
| تی تی وی | ≤5 میکرومتر | ≤10 میکرومتر | ≤15 میکرومتر |
| LTV | ≤3 میکرومتر (5mm*5mm) | ≤5 میکرومتر (5mm*5mm) | ≤10 میکرومتر (5mm*5mm) |
| تعظیم | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| پیچ و تاب | ≤35 میکرومتر | ≤45 میکرومتر | ≤55 میکرومتر |
| زبری جلو (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ساختار | |||
| تراکم میکرولوله | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ناخالصی های فلزی | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| کیفیت جلو | |||
| جلو | Si | ||
| پرداخت سطح | سی فیس CMP | ||
| ذرات | ≤60ea/ویفر (اندازه≥0.3μm) | NA | |
| خراش | ≤5ea/mm. طول تجمعی ≤قطر | طول تجمعی≤2*قطر | NA |
| پوست پرتقال / حفره / لکه / مخطط / ترک / آلودگی | هیچ کدام | NA | |
| تراشه های لبه / فرورفتگی / شکستگی / صفحات شش گوش | هیچ کدام | ||
| نواحی پلی تایپ | هیچ کدام | سطح تجمعی ≤20٪ | سطح تجمعی≤30٪ |
| علامت گذاری لیزری جلو | هیچ کدام | ||
| کیفیت برگشت | |||
| پایان پشت | C-face CMP | ||
| خراش | ≤5ea/mm، طول تجمعی≤2*قطر | NA | |
| عیوب پشت (تراشه های لبه / فرورفتگی) | هیچ کدام | ||
| زبری پشت | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| علامت گذاری لیزری پشت | 1 میلی متر (از لبه بالا) | ||
| لبه | |||
| لبه | چمفر | ||
| بسته بندی | |||
| بسته بندی | Epi-ready با بسته بندی وکیوم بسته بندی کاست چند ویفر | ||
| *نکته: "NA" به معنای عدم درخواست است موارد ذکر نشده ممکن است به SEMI-STD اشاره داشته باشند. | |||
