اپیتاکسی LED آبی/سبز از semicera راه حل های پیشرفته ای را برای تولید LED با کارایی بالا ارائه می دهد. فناوری اپتاکسی LED آبی/سبز semicera که برای پشتیبانی از فرآیندهای رشد همپایی پیشرفته طراحی شده است، کارایی و دقت را در تولید LED های آبی و سبز، که برای کاربردهای مختلف نوری بسیار مهم هستند، افزایش می دهد. این راه حل با استفاده از سی اپیتاکسی و سی سی اپیتاکسی، کیفیت و دوام عالی را تضمین می کند.
در فرآیند تولید، MOCVD Susceptor به همراه اجزایی مانند PSS Etching Carrier، ICP Etching Carrier و RTP Carrier که محیط رشد همپایی را بهینه می‌کنند، نقش مهمی ایفا می‌کند. اپیتاکسی LED آبی/سبز Semicera برای ارائه پشتیبانی پایدار از LED Epitaxial Susceptor، Barrel Susceptor، و Monocrystalline Silicon طراحی شده است، و از تولید نتایج با کیفیت بالا اطمینان می دهد.
این فرآیند اپیتاکسی برای ایجاد قطعات فتوولتائیک حیاتی است و از برنامه‌هایی مانند GaN در SiC Epitaxy پشتیبانی می‌کند و بازده کلی نیمه‌رسانا را بهبود می‌بخشد. راه حل های اپیتاکسی LED آبی/سبز semicera چه در پیکربندی Pancake Susceptor یا در سایر تنظیمات پیشرفته استفاده شود، عملکرد قابل اعتمادی را ارائه می دهد و به تولیدکنندگان کمک می کند تا تقاضای رو به رشد برای قطعات LED با کیفیت بالا را برآورده کنند.
ویژگی های اصلی:
1. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا:
هنگامی که درجه حرارت تا 1600 درجه سانتیگراد است، مقاومت در برابر اکسیداسیون هنوز بسیار خوب است.
2. خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
3. مقاومت در برابر فرسایش: سختی بالا، سطح فشرده، ذرات ریز.
4. مقاومت در برابر خوردگی: اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی.
مشخصات اصلی ازپوشش CVD-SIC
| ویژگی های SiC-CVD | ||
| ساختار کریستالی | فاز β FCC | |
| تراکم | g/cm³ | 3.21 |
| سختی | سختی ویکرز | 2500 |
| اندازه دانه | میکرومتر | 2 تا 10 |
| خلوص شیمیایی | % | 99.99995 |
| ظرفیت حرارتی | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| دمای تصعید | ℃ | 2700 |
| قدرت فلکسورال | MPa (RT 4 نقطه ای) | 415 |
| مدول یانگ | Gpa (خم 4pt، 1300℃) | 430 |
| انبساط حرارتی (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| هدایت حرارتی | (W/mK) | 300 |
