![12](http://cdn.globalso.com/semi-cera/122.png)
ویژگی ها و مزایا
1. ابعاد دقیق و پایداری حرارتی
2.سختی خاص بالا و یکنواختی حرارتی عالی، استفاده طولانی مدت خم کردن تغییر شکل آسان نیست.
3. دارای سطح صاف و مقاومت در برابر سایش خوب است، بنابراین با خیال راحت تراشه را بدون آلودگی ذرات مدیریت می کند.
4. مقاومت کاربید سیلیکون در 106-108Ω، غیر مغناطیسی، مطابق با الزامات مشخصات ضد ESD.می تواند از تجمع الکتریسیته ساکن در سطح تراشه جلوگیری کند
5. هدایت حرارتی خوب، ضریب انبساط کم.
![ربات افکتور بازو](http://cdn.globalso.com/semi-cera/Silicon-carbide-Ceramic-Effector-4.png)
![SiC End Effector](http://cdn.globalso.com/semi-cera/Silicon-carbide-Ceramic-Effector-6.png)
![مقایسه مواد سرامیکی SIC](http://cdn.globalso.com/semi-cera/Comparison-of-SIC-ceramic-materials.png)
![ADFvZCVXCD](http://cdn.globalso.com/semi-cera/ADFvZCVXCD.png)