مقدمه ای بر پوشش سیلیکون کاربید
پوشش سیلیکون کاربید (SiC) رسوب بخار شیمیایی (CVD) ما یک لایه بسیار بادوام و مقاوم در برابر سایش است، ایده آل برای محیط هایی که به مقاومت در برابر خوردگی و حرارتی بالا نیاز دارند.پوشش سیلیکون کاربیددر لایه های نازک روی بسترهای مختلف از طریق فرآیند CVD اعمال می شود و ویژگی های عملکردی برتر را ارائه می دهد.
ویژگی های کلیدی
● خلوص استثنایی: دارای ترکیب فوق العاده خالص از99.99995%، ماپوشش SiCخطرات آلودگی در عملیات نیمه هادی حساس را به حداقل می رساند.
● -مقاومت برتر: مقاومت عالی در برابر سایش و خوردگی از خود نشان می دهد و برای تنظیمات شیمیایی و پلاسما بسیار مناسب است.
● -رسانایی حرارتی بالا: به دلیل خواص حرارتی فوق العاده ای که دارد، عملکرد قابل اعتمادی را در دماهای شدید تضمین می کند.
● ثبات ابعادی: به لطف ضریب انبساط حرارتی پایین، یکپارچگی ساختاری را در طیف وسیعی از دماها حفظ می کند.
● افزایش سختی: با درجه سختی40 گیگا پاسکال، پوشش SiC ما در برابر ضربه و سایش قابل توجهی مقاومت می کند.
● پایان سطح صاف: پوششی آینه مانند ارائه می دهد، تولید ذرات را کاهش می دهد و کارایی عملیاتی را افزایش می دهد.
برنامه های کاربردی
نیمه سر پوشش های SiCدر مراحل مختلف ساخت نیمه هادی ها از جمله:
● -ساخت تراشه LED
● -تولید پلی سیلیکون
● -رشد کریستال نیمه هادی
● -اپیتاکسی سیلیکون و SiC
● -اکسیداسیون و انتشار حرارتی (TO&D)
ما قطعات پوشش داده شده با SiC ساخته شده از گرافیت ایزواستاتیک با استحکام بالا، کربن تقویت شده با فیبر کربن و کاربید سیلیکون متبلور مجدد 4N را که برای راکتورهای بستر سیال طراحی شده است، تهیه می کنیم.مبدل های STC-TCS، بازتابنده های واحد CZ، قایق ویفر SiC، پدل SiCwafer، لوله ویفر SiC، و حامل های ویفر مورد استفاده در فرآیندهای PECVD، اپیتاکسی سیلیکون، MOCVD.
مزایا
● -Extended Lifespan: به طور قابل توجهی زمان از کار افتادن تجهیزات و هزینه های نگهداری را کاهش می دهد و کارایی کلی تولید را افزایش می دهد.
● بهبود کیفیت: سطوح با خلوص بالا لازم برای پردازش نیمه هادی را به دست می آورد و در نتیجه کیفیت محصول را افزایش می دهد.
● افزایش بهره وری: فرآیندهای حرارتی و CVD را بهینه می‌کند و در نتیجه زمان‌های چرخه کوتاه‌تر و بازدهی بالاتری دارد.
مشخصات فنی
● -ساختار: پلی کریستال فاز β FCC، عمدتاً (111) گرا
● -تراکم: 3.21 گرم بر سانتی متر مکعب
● -سختی: سختی 2500 Vickes (500 گرم بار)
● -استحکام شکستگی: 3.0 مگاپاسکال1/2
● -ضریب انبساط حرارتی (100-600 درجه سانتیگراد): 4.3 x 10-6k-1
● -مدول الاستیک(1300 ℃):435 GPa
● -ضخامت فیلم معمولی:100 میکرومتر
● -زبری سطح:2-10 میکرومتر
داده‌های خلوص (اندازه‌گیری شده با طیف‌سنجی جرمی تخلیه براق)
| عنصر | ppm | عنصر | ppm |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| ال | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
