قایق گرافیت ایزواستاتیک PECVD SEMICERA یک محصول گرافیتی با خلوص بالا و چگالی بالا است که برای پشتیبانی از ویفر در فرآیند PECVD (رسوبدهی بخار شیمیایی با افزایش پلاسما) طراحی شده است. SEMICERA از فناوری پرس ایزواستاتیک پیشرفته استفاده می کند تا اطمینان حاصل کند که قایق گرافیتی دارای مقاومت عالی در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، پایداری ابعادی و هدایت حرارتی خوب است که یک ماده مصرفی ضروری در فرآیند تولید نیمه هادی است.
قایق گرافیت ایزواستاتیک PECVD SEMICERA دارای مزایای زیر است:
▪ خلوص بالا: ماده گرافیت دارای خلوص بالا و محتوای ناخالصی کم است تا از آلودگی سطح ویفر جلوگیری شود.
▪ چگالی بالا: چگالی بالا، استحکام مکانیکی بالا، می تواند دمای بالا و محیط خلاء بالا را تحمل کند.
▪ پایداری ابعادی خوب: تغییر ابعاد کوچک در دمای بالا برای اطمینان از ثبات فرآیند.
▪ هدایت حرارتی عالی: انتقال موثر گرما برای جلوگیری از گرم شدن بیش از حد ویفر.
▪ مقاومت در برابر خوردگی قوی: قادر به مقاومت در برابر فرسایش توسط گازهای خورنده مختلف و پلاسما است.
| پارامتر عملکرد | نیمه سر | SGL R6510 | پارامتر عملکرد |
| چگالی ظاهری (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
| مقاومت خمشی (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| مقاومت فشاری (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| سختی ساحلی (HS) | 70 | 64 | 60 |
| ضریب انبساط حرارتی (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
| ضریب انبساط حرارتی (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
| مقاومت (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
مزایای انتخاب ما:
▪ انتخاب مواد: برای اطمینان از کیفیت محصول از مواد گرافیتی با خلوص بالا استفاده می شود.
▪ تکنولوژی پردازش: پرس ایزواستاتیک برای اطمینان از تراکم و یکنواختی محصول استفاده می شود.
▪ سفارشی سازی اندازه: قایق های گرافیتی در اندازه ها و اشکال مختلف را می توان با توجه به نیاز مشتری سفارشی کرد.
▪ عملیات سطحی: انواع روش های تصفیه سطحی مانند پوشش کاربید سیلیکون، نیترید بور و غیره برای برآوردن نیازهای فرآیندی مختلف ارائه می شود.
