قسمت جلویی خط تولید مانند پی ریزی و ساختن دیوارهای یک خانه است. در ساخت نیمه هادی، این مرحله شامل ایجاد ساختارهای اساسی و ترانزیستورها بر روی یک ویفر سیلیکونی است.
مراحل کلیدی FEOL:
1. تمیز کردن:با یک ویفر سیلیکونی نازک شروع کنید و آن را تمیز کنید تا هرگونه ناخالصی از بین برود.
2. اکسیداسیون:لایه ای از دی اکسید سیلیکون را روی ویفر بکارید تا قسمت های مختلف تراشه جدا شود.
3. فتولیتوگرافی:از فتولیتوگرافی برای حک کردن الگوها روی ویفر استفاده کنید، شبیه به ترسیم طرح‌های اولیه با نور.
4. حکاکی کردن:دی اکسید سیلیکون ناخواسته را حکاکی کنید تا الگوهای مورد نظر ظاهر شود.
5. دوپینگ:ناخالصی‌ها را به سیلیکون وارد کنید تا خواص الکتریکی آن را تغییر دهید، ترانزیستورها، بلوک‌های ساختمانی اساسی هر تراشه را ایجاد کنید.
Mid End of Line (MEOL): اتصال نقاط
انتهای خط تولید مانند نصب سیم کشی و لوله کشی در یک خانه است. این مرحله بر ایجاد ارتباط بین ترانزیستورهای ایجاد شده در مرحله FEOL تمرکز دارد.
مراحل کلیدی MEOL:
1. رسوب دی الکتریک:لایه های عایق (به نام دی الکتریک) را برای محافظت از ترانزیستورها رسوب دهید.
2. تشکیل تماس:برای اتصال ترانزیستورها به یکدیگر و دنیای خارج، تماس هایی را تشکیل دهید.
3. اتصال به یکدیگر:لایه‌های فلزی را اضافه کنید تا مسیرهایی برای سیگنال‌های الکتریکی ایجاد کنید، مانند سیم‌کشی یک خانه برای اطمینان از جریان یکپارچه برق و داده‌ها.
انتهای خط (BEOL): کارهای پایانی
-
قسمت پشتی خط تولید مانند افزودن آخرین نکات به خانه است – نصب وسایل، رنگ آمیزی و اطمینان از کارکرد همه چیز. در ساخت نیمه هادی، این مرحله شامل افزودن لایه های نهایی و آماده سازی تراشه برای بسته بندی است.
مراحل کلیدی BEOL:
1. لایه های فلزی اضافی:چندین لایه فلزی اضافه کنید تا اتصالات را افزایش دهید و اطمینان حاصل کنید که تراشه می تواند کارهای پیچیده و سرعت بالا را انجام دهد.
2. غیرفعال سازی:برای محافظت از تراشه در برابر آسیب های محیطی از لایه های محافظ استفاده کنید.
3. آزمایش:تراشه را تحت آزمایش های دقیق قرار دهید تا مطمئن شوید که تمام مشخصات را برآورده می کند.
4. قطعه قطعه کردن:ویفر را به تراشه های جداگانه برش دهید که هر کدام برای بسته بندی و استفاده در دستگاه های الکترونیکی آماده هستند.
زمان ارسال: ژوئیه-08-2024