فرآیند تولید ویفر کاربید سیلیکون

ویفر سیلیکون کاربیداز پودر سیلیکون با خلوص بالا و پودر کربن با خلوص بالا به عنوان مواد اولیه ساخته شده است و کریستال کاربید سیلیکون با روش انتقال بخار فیزیکی (PVT) رشد می‌کند و بهویفر کاربید سیلیکون.

① سنتز مواد خام. پودر سیلیکون با خلوص بالا و پودر کربن با خلوص بالا با توجه به نسبت خاصی مخلوط شدند و ذرات کاربید سیلیکون در دمای بالا بالای 2000 درجه سانتیگراد سنتز شدند. پس از خرد کردن، تمیز کردن و سایر فرآیندها، مواد خام پودر کاربید سیلیکون با خلوص بالا که نیازهای رشد کریستال را برآورده می کند، تهیه می شود.

② رشد کریستال. با استفاده از پودر SIC با خلوص بالا به عنوان ماده خام، کریستال با روش انتقال بخار فیزیکی (PVT) با استفاده از کوره رشد کریستال خود توسعه رشد داده شد.

③ پردازش شمش. شمش کریستال کاربید سیلیکون به‌دست‌آمده توسط جهت‌دهنده تک کریستالی اشعه ایکس جهت‌گیری شد، سپس آسیاب و نورد شد و به کریستال کاربید سیلیکون با قطر استاندارد پردازش شد.

④ برش کریستال. با استفاده از تجهیزات برش چند خطی، کریستال های کاربید سیلیکون به ورقه های نازک با ضخامت بیش از 1 میلی متر بریده می شوند.

⑤ سنگ زنی تراشه. ویفر با استفاده از سیال های آسیاب الماس با اندازه های مختلف ذرات به صافی و زبری مورد نظر آسیاب می شود.

⑥ پولیش تراشه. کاربید سیلیکون صیقلی بدون آسیب سطحی با پرداخت مکانیکی و پرداخت مکانیکی شیمیایی به دست آمد.

⑦ تشخیص تراشه. از میکروسکوپ نوری، پراش اشعه ایکس، میکروسکوپ نیروی اتمی، تستر مقاومت غیر تماسی، تستر صافی سطح، تستر جامع نقص سطح و سایر ابزارها و تجهیزات برای تشخیص چگالی میکروتوبول، کیفیت کریستال، زبری سطح، مقاومت، تاب خوردگی، انحنای سطح، استفاده کنید. تغییر ضخامت، خراش سطح و سایر پارامترهای ویفر کاربید سیلیکون. بر این اساس سطح کیفی تراشه مشخص می شود.

⑧ تمیز کردن تراشه. ورق پولیش کاربید سیلیکون با ماده تمیز کننده و آب خالص تمیز می شود تا مایع صیقل دهنده باقیمانده و سایر کثیفی های سطح روی ورق پولیش پاک شود و سپس ویفر با دمش و خشک کردن با نیتروژن با خلوص فوق العاده بالا و دستگاه خشک کن خشک می شود. ویفر در یک جعبه تمیز در یک محفظه فوق تمیز محصور شده است تا یک ویفر کاربید سیلیکون آماده برای استفاده پایین دست را تشکیل دهد.

هرچه اندازه تراشه بزرگتر باشد، رشد کریستال و فناوری پردازش مربوطه دشوارتر است و هر چه راندمان تولید دستگاه های پایین دستی بالاتر باشد، هزینه واحد کمتر می شود.