مراحل اصلی در پردازش بسترهای SiC چیست؟

نحوه تولید مراحل پردازش زیرلایه های SiC به شرح زیر است:

1. جهت گیری کریستال: استفاده از پراش اشعه ایکس برای جهت دهی شمش کریستال. هنگامی که یک پرتو اشعه ایکس به سمت کریستال مورد نظر هدایت می شود، زاویه پرتو پراش، جهت کریستال را تعیین می کند.

2. آسیاب با قطر بیرونی: تک بلورهایی که در بوته های گرافیتی رشد می کنند اغلب از قطر استاندارد فراتر می روند. آسیاب قطر خارجی آنها را به اندازه های استاندارد کاهش می دهد.

 

3.End Face Grinding: بسترهای 4 اینچی 4H-SiC معمولاً دارای دو لبه موقعیت یابی اولیه و ثانویه هستند. سنگ زنی انتهایی این لبه های موقعیت یابی را باز می کند.

4. اره سیم: اره سیم یک مرحله مهم در پردازش بسترهای 4H-SiC است. ترک‌ها و آسیب‌های زیرسطحی ناشی از اره‌زنی سیم بر فرآیندهای بعدی تأثیر منفی می‌گذارد، زمان پردازش را طولانی‌تر می‌کند و باعث از دست دادن مواد می‌شود. رایج ترین روش اره کردن چند سیم با ساینده الماس است. برای برش شمش 4H-SiC از یک حرکت رفت و برگشتی از سیم های فلزی متصل شده با مواد ساینده الماس استفاده می شود.

5. پخ زدن: برای جلوگیری از بریدگی لبه و کاهش تلفات مصرفی در طی فرآیندهای بعدی، لبه های تیز براده های سیم اره شده به شکل های مشخص پخ می شوند.

6. نازک شدن: اره سیم خراش ها و آسیب های زیر سطحی زیادی بر جای می گذارد. نازک شدن با استفاده از چرخ های الماسی انجام می شود تا این عیوب تا حد امکان برطرف شود.

7. سنگ زنی: این فرآیند شامل آسیاب خشن و آسیاب ریز با استفاده از ساینده های کاربید بور یا الماس با اندازه کوچکتر برای حذف آسیب های باقیمانده و آسیب های جدید وارد شده در طول نازک شدن است.

8. پرداخت: مراحل نهایی شامل پرداخت خشن و پرداخت ریز با استفاده از ساینده های آلومینا یا اکسید سیلیکون است. مایع صیقل دهنده سطح را نرم می کند و سپس به صورت مکانیکی توسط مواد ساینده حذف می شود. این مرحله یک سطح صاف و بدون آسیب را تضمین می کند.

9. تمیز کردن: حذف ذرات، فلزات، لایه های اکسیدی، باقی مانده های آلی و سایر آلاینده های باقی مانده از مراحل پردازش.