اینMOCVDروش یکی از پایدارترین فرآیندهایی است که در حال حاضر در صنعت برای رشد لایه های نازک تک کریستالی با کیفیت بالا مانند لایه های لایه لایه تک فاز InGaN، مواد III-N و فیلم های نیمه هادی با ساختار چاه های کوانتومی چندگانه استفاده می شود و از اهمیت زیادی در ساخت دستگاه های نیمه هادی و نوری.
اینگیرنده MOCVD پوشش SiCیک نگهدارنده ویفر تخصصی است که با کاربید سیلیکون (SiC) روکش شده استاپیتاکسیال رشد در فرآیند رسوب بخار شیمیایی آلی فلزی (MOCVD).
پوشش SiC دارای مقاومت شیمیایی و پایداری حرارتی عالی است، که آن را به انتخابی ایده‌آل برای گیرنده‌های MOCVD مورد استفاده در فرآیندهای رشد اپیتاکسیال تبدیل می‌کند.
یکی از اجزای اصلی فرآیند MOCVD، susceptor است که یک عنصر کلیدی برای اطمینان از یکنواختی و کیفیت لایه‌های نازک تولید شده است.
گیرنده چیست؟ سوسپتور یک جزء تخصصی است که در فرآیند MOCVD برای پشتیبانی و گرم کردن بستری که لایه نازک روی آن قرار گرفته است استفاده می شود. عملکردهای متعددی از جمله جذب انرژی الکترومغناطیسی، تبدیل آن به گرما و توزیع یکنواخت گرما بر روی بستر دارد. این گرمایش یکنواخت برای رشد لایه های نازک یکنواخت با ضخامت و ترکیب دقیق ضروری است.
انواع گیرنده ها:
1. گیرنده های گرافیت: گیرنده های گرافیت اغلب با یک لایه محافظ مانندکاربید سیلیکون (SiC)که به دلیل هدایت حرارتی و پایداری بالا معروف است. اینپوشش SiCسطح سخت و محافظی را فراهم می کند که در برابر خوردگی و تخریب در دماهای بالا مقاومت می کند.
2. گیرنده های کاربید سیلیکون (SiC): این گیرنده ها تماماً از SiC ساخته شده اند و پایداری حرارتی و مقاومت در برابر سایش عالی دارند. گیرنده های SiC به ویژه برای فرآیندهای با دمای بالا و محیط های خورنده مناسب هستند.
نحوه عملکرد گیرنده ها در MOCVD:
در فرآیند MOCVD، پیش سازها به محفظه واکنش وارد می شوند و در آنجا تجزیه می شوند و برای تشکیل یک لایه نازک روی بستر واکنش نشان می دهند. سوسپتور با حصول اطمینان از اینکه بستر به طور یکنواخت گرم می شود، نقش حیاتی ایفا می کند، که برای دستیابی به خواص فیلم ثابت در کل سطح بستر بسیار مهم است. مواد و طراحی سوسپتور به دقت انتخاب شده است تا نیازهای خاص فرآیند رسوب گذاری، مانند محدوده دما و سازگاری شیمیایی را برآورده کند.
مزایای استفاده از گیرنده های با کیفیت بالا:
• بهبود کیفیت فیلم: با ارائه توزیع یکنواخت گرما، گیرنده به دستیابی به فیلم هایی با ضخامت و ترکیب ثابت کمک می کند که برای عملکرد دستگاه های نیمه هادی بسیار مهم است.
• بهبود راندمان فرآیند: گیرنده های با کیفیت بالا با کاهش احتمال نقص و افزایش بازده فیلم های قابل استفاده، کارایی کلی فرآیند MOCVD را افزایش می دهند.
• طول عمر و قابلیت اطمینان: گیرنده های ساخته شده از مواد بادوام مانند SiC اطمینان طولانی مدت را تضمین می کنند و هزینه های نگهداری را کاهش می دهند.
سوسپتور یک جزء جدایی ناپذیر در فرآیند MOCVD است و به طور مستقیم بر کیفیت و کارایی رسوب لایه نازک تأثیر می گذارد. برای اطلاعات بیشتر در مورد اندازه های موجود، گیره های MOCVD و قیمت ها، لطفا با ما تماس بگیرید. مهندسان ما خوشحال خواهند شد که شما را در مورد مواد مناسب راهنمایی کنند و به تمام سوالات شما پاسخ دهند.
تلفن: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
زمان ارسال: اوت-12-2024