رشد همپایه یک فناوری است که یک لایه تک کریستالی را روی یک بستر تک کریستالی (زیر لایه) با جهت کریستالی یکسانی به زیرلایه رشد می دهد، گویی کریستال اصلی به سمت بیرون کشیده شده است. این لایه تک کریستالی تازه رشد کرده می تواند از نظر درجه سانتی گراد با بستر متفاوت باشد.
ادامه مطلب