معرفی ویفر حامل
دسته بندی محصولات
▶سیستم حامل ویفر برای فرآیند PECVD و TALOX
• قایق گرافیتی PECVD و TALOX (M4~M12)
• قایق SM عمودی (M4، M6)
• قطعه گرافیتی ایمپلنت و دوش (M4~M6)
• سینی C/C و پوشش سرامیکی
• سینی فلزی و پوشش سرامیکی
• آب بندی خلاء: O-Ring و SQ-Ring
▶فرآیند انتقال بافت و اچینگ مرطوب
• LSC H-Carrier یا نوار کاست (M4~M12)
• LSC V-Carrier یا نوار کاست (M4~M12)
• حامل یا کاست ASC (M4، M6)
• W/F Carrier & Storage Box (M4~M12)
• سری چرخ حمل و نقل (غلتک).
▶حامل سلول خورشیدی و حامل فلزی
• حامل یا کاست TRC (M4~M12)
• مجله (با کمربند)
قایق گرافیتی (نوع H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
قایق گرافیتی (نوع H)
21P6-240CT WF M4~M12)
قایق گرافیتی (نوع H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
قایق گرافیتی (نوع H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
قایق گرافیتی (نوع H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF CARRIER & STORAGE BOX (~M12)
سینی C/C یا CARRIER (M4~M10)
سینی C/C یا CARRIER (M4~M10)
قایق عمودی (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~M12)
LSC-V-CARRIER (~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER (~M12)
TRC CARRIER (~M12)
قایق گرافیتی (M12)
سیستم حامل ویفر برای فرآیند PECVD
▶ قایق گرافیتی (سی تی طراحی شده) فرآیند M10/M12
• مفهوم طراحی خاص
▶ قایق گرافیتی (سی تی طراحی شده) فرآیند M4/M6
▶ قطعات جانبی قایق
▶ قایق عمودی-161.7 میلی متر ویفر
▶ ویفر قایق عمودی 166 میلی متر
▶ قایق عمودی-161.7 میلی متر، ویفر 166 میلی متر
حامل سلول خورشیدی و حامل TRC فلزی
نوع: اتوماسیون
اندازه ویفر: ① 156×156 میلی متر ② 156.75×156.75 میلی متر
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180 × 180 میلی متر ⑥ 210 × 210 میلی متر
کاربرد: حمل (کاست)
ظرفیت: 100 برگ
گام: 4.76mm/5.953mm/6.35mm
ابعاد: تقریباً 559×220×220 میلی متر
تقریباً 712 × 260 × 260 میلی متر
مزیت: جو
مواد: شعله، نوار جانبی آلومینیوم (آندایزینگ)
SIDE PLATE-POM (آنتی استاتیک)
پوشش نوار پایینی-EPDM/PU/VITON (ASE)
حامل TRC-METAL (U'SER LINE)
حامل TRC-METAL (U'SER LINE)
حامل TRC-METAL (U'SER LINE)
صفحه دوش و ایمپلنت، حامل
