نیمه سرخوشحال است که ارائه می دهدکاست PFA، یک انتخاب عالی برای جابجایی ویفر در محیط هایی که مقاومت شیمیایی و دوام آن از اهمیت بالایی برخوردار است. این کاست که از مواد پرفلوئوروآلکوکسی (PFA) با خلوص بالا ساخته شده است، به گونه ای طراحی شده است که در سخت ترین شرایط در ساخت نیمه هادی مقاومت کند و ایمنی و یکپارچگی ویفرهای شما را تضمین کند.
مقاومت شیمیایی بی نظیراینکاست PFAبه گونه ای طراحی شده است که مقاومت بالایی در برابر طیف وسیعی از مواد شیمیایی ایجاد کند، و آن را به گزینه ای عالی برای فرآیندهایی که شامل اسیدهای تهاجمی، حلال ها و سایر مواد شیمیایی خشن هستند تبدیل می کند. این مقاومت شیمیایی قوی تضمین می کند که کاست حتی در خورنده ترین محیط ها دست نخورده و عملکردی باقی می ماند، در نتیجه طول عمر آن را افزایش می دهد و نیاز به تعویض مکرر را کاهش می دهد.
ساخت و ساز با خلوص بالاSemicera'sکاست PFAاز مواد فوق خالص PFA ساخته شده است که برای جلوگیری از آلودگی در طول پردازش ویفر بسیار مهم است. این ساختار با خلوص بالا خطر تولید ذرات و شستشوی شیمیایی را به حداقل میرساند و تضمین میکند که ویفرهای شما از ناخالصیهایی که میتواند کیفیت آنها را به خطر بیندازد محافظت میشود.
افزایش دوام و عملکردطراحی شده برای دوام،کاست PFAیکپارچگی ساختاری خود را تحت دماهای شدید و شرایط پردازش سخت حفظ می کند. این کاست چه در معرض دماهای بالا قرار گیرد و چه در معرض حمل و نقل مکرر قرار گیرد، شکل و عملکرد خود را حفظ میکند و قابلیت اطمینان طولانیمدت را در محیطهای تولیدی نیازمند ارائه میکند.
مهندسی دقیق برای حمل و نقل ایمناینکاست PFA Semiceraدارای مهندسی دقیق است که حمل و نقل ایمن و پایدار ویفر را تضمین می کند. هر شکاف به دقت طراحی شده است تا ویفرها را در جای خود محکم نگه دارد و از هر گونه حرکت یا جابجایی که می تواند منجر به آسیب شود جلوگیری می کند. این مهندسی دقیق از قرار دادن ویفر سازگار و دقیق پشتیبانی می کند و به کارایی کلی فرآیند کمک می کند.
کاربرد همه کاره در سراسر فرآیندهابه لطف خواص مواد برتر آن،کاست PFAبه اندازه کافی همه کاره است تا در مراحل مختلف ساخت نیمه هادی مورد استفاده قرار گیرد. به ویژه برای حکاکی مرطوب، رسوب بخار شیمیایی (CVD) و سایر فرآیندهایی که شامل محیط های شیمیایی خشن هستند، مناسب است. سازگاری آن آن را به یک ابزار ضروری در حفظ یکپارچگی فرآیند و کیفیت ویفر تبدیل می کند.
تعهد به کیفیت و نوآوریدر Semicera، ما متعهد به ارائه محصولاتی هستیم که با بالاترین استانداردهای صنعت مطابقت دارند. اینکاست PFAنمونه ای از این تعهد است و راه حل قابل اعتمادی را ارائه می دهد که به طور یکپارچه در فرآیندهای تولید شما ادغام می شود. هر کاست تحت کنترل کیفی دقیقی قرار می گیرد تا اطمینان حاصل شود که معیارهای عملکرد دقیق ما را برآورده می کند و برتری شما را از Semicera ارائه می دهد.
موارد | تولید | تحقیق کنید | ساختگی |
پارامترهای کریستال | |||
چند تایپ | 4H | ||
خطای جهت گیری سطح | <11-20 > 0.15±4 درجه | ||
پارامترهای الکتریکی | |||
دوپانت | نیتروژن نوع n | ||
مقاومت | 0.015-0.025 اهم · سانتی متر | ||
پارامترهای مکانیکی | |||
قطر | 0.2±150.0 میلی متر | ||
ضخامت | 25±350 میکرومتر | ||
جهت گیری مسطح اولیه | [1-100] ± 5 درجه | ||
طول تخت اولیه | 47.5±1.5 میلی متر | ||
آپارتمان ثانویه | هیچ کدام | ||
تی تی وی | ≤5 میکرومتر | ≤10 میکرومتر | ≤15 میکرومتر |
LTV | ≤3 میکرومتر (5mm*5mm) | ≤5 میکرومتر (5mm*5mm) | ≤10 میکرومتر (5mm*5mm) |
تعظیم | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
پیچ و تاب | ≤35 میکرومتر | ≤45 میکرومتر | ≤55 میکرومتر |
زبری جلو (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ساختار | |||
تراکم میکرولوله | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
ناخالصی های فلزی | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
کیفیت جلو | |||
جلو | Si | ||
پرداخت سطح | سی فیس CMP | ||
ذرات | ≤60ea/ویفر (اندازه≥0.3μm) | NA | |
خراش | ≤5ea/mm. طول تجمعی ≤قطر | طول تجمعی≤2*قطر | NA |
پوست پرتقال / حفره / لکه / مخطط / ترک / آلودگی | هیچ کدام | NA | |
تراشه های لبه / فرورفتگی / شکستگی / صفحات شش گوش | هیچ کدام | ||
نواحی پلی تایپ | هیچ کدام | سطح تجمعی ≤20٪ | سطح تجمعی≤30٪ |
علامت گذاری لیزری جلو | هیچ کدام | ||
کیفیت برگشت | |||
پایان پشت | C-face CMP | ||
خراش | ≤5ea/mm، طول تجمعی≤2*قطر | NA | |
عیوب پشت (تراشه های لبه / فرورفتگی) | هیچ کدام | ||
زبری پشت | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
علامت گذاری لیزری پشت | 1 میلی متر (از لبه بالا) | ||
لبه | |||
لبه | چمفر | ||
بسته بندی | |||
بسته بندی | Epi-ready با بسته بندی وکیوم بسته بندی کاست چند ویفر | ||
*نکته: "NA" به معنای عدم درخواست است موارد ذکر نشده ممکن است به SEMI-STD اشاره داشته باشند. |