RTPحلقه های CVD SiCبه طور گسترده در زمینه های صنعتی و علمی در دمای بالا و محیط های خورنده استفاده می شود. این نقش مهمی در تولید نیمه هادی، الکترونیک نوری، ماشین آلات دقیق و صنایع شیمیایی ایفا می کند. کاربردهای خاص عبارتند از:
1. ساخت نیمه هادی:حلقه های RTP CVD SiCمی توان برای گرمایش و سرمایش تجهیزات نیمه هادی، کنترل دمای پایدار و اطمینان از دقت و سازگاری فرآیند استفاده کرد.
2. اپتوالکترونیک: به دلیل هدایت حرارتی عالی و مقاومت در برابر دمای بالا، RTPحلقه های CVD SiCمی تواند به عنوان مواد پشتیبانی و اتلاف حرارت برای لیزرها، تجهیزات ارتباطی فیبر نوری و اجزای نوری استفاده شود.
3. ماشین آلات دقیق: حلقه های RTP CVD SiC را می توان برای ابزارها و تجهیزات دقیق در دمای بالا و محیط های خورنده، مانند کوره های دمای بالا، دستگاه های خلاء و راکتورهای شیمیایی استفاده کرد.
4. صنایع شیمیایی: به دلیل مقاومت در برابر خوردگی و پایداری شیمیایی، حلقه های RTP CVD SiC را می توان در ظروف، لوله ها و راکتورها در واکنش های شیمیایی و فرآیندهای کاتالیزوری استفاده کرد.
سیستم Epi
سیستم RTP
سیستم CVD
عملکرد محصول:
1. فرآیند زیر 28 نانومتر را برآورده کنید
2. مقاومت در برابر خوردگی فوق العاده
3. عملکرد فوق العاده تمیز
4. سختی فوق العاده
5. تراکم بالا
6. مقاومت در برابر درجه حرارت بالا
7. مقاومت در برابر سایش
کاربرد محصول:
مواد کاربید سیلیکون دارای ویژگی های سختی بالا، مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر خوردگی و پایداری در دمای بالا هستند. محصولات با عملکرد جامع عالی به طور گسترده در فرآیندهای اچ خشک و TF/Diffusion استفاده می شوند.
عملکرد محصول:
1. فرآیند زیر 28 نانومتر را برآورده کنید
2. مقاومت در برابر خوردگی فوق العاده
3. عملکرد فوق العاده تمیز
4. سختی فوق العاده
5. تراکم بالا
6. مقاومت در برابر درجه حرارت بالا
7. مقاومت در برابر سایش
توسعه فرآیند ترکیبی:
• پوشش گرافیت + SiC
• جامد CVD SiC
• SiC+CVD متخلخل
• SicSintered SiC
توسعه انواع محصول چندگانه:
• حلقه
• جدول
• گیرنده
• سر دوش
