نیمه سرکیفیت بالای آن را معرفی می کندسی اپیتاکسیخدمات طراحی شده برای مطابقت با استانداردهای دقیق صنعت نیمه هادی امروزی. لایههای سیلیکونی اپیتاکسیال برای عملکرد و قابلیت اطمینان دستگاههای الکترونیکی حیاتی هستند و راهحلهای Si Epitaxy ما تضمین میکنند که اجزای شما به عملکرد مطلوبی دست پیدا میکنند.
لایه های سیلیکونی رشد یافته با دقت نیمه سرمی داند که اساس دستگاه های با کارایی بالا در کیفیت مواد مورد استفاده نهفته است. ماسی اپیتاکسیفرآیند به دقت کنترل می شود تا لایه های سیلیکونی با یکنواختی و یکپارچگی کریستالی استثنایی تولید شود. این لایهها برای کاربردهای مختلف از میکروالکترونیک گرفته تا دستگاههای قدرت پیشرفته، که در آن سازگاری و قابلیت اطمینان در اولویت هستند، ضروری هستند.
برای عملکرد دستگاه بهینه شده استاینسی اپیتاکسیخدمات ارائه شده توسط Semicera برای بهبود خواص الکتریکی دستگاه های شما طراحی شده است. با رشد لایههای سیلیکونی با خلوص بالا با تراکم نقص کم، ما اطمینان میدهیم که اجزای شما بهترین عملکرد را دارند، با تحرک حامل بهبود یافته و مقاومت الکتریکی به حداقل میرسد. این بهینهسازی برای دستیابی به ویژگیهای با سرعت بالا و کارایی بالا که مورد نیاز فناوری مدرن است، حیاتی است.
تطبیق پذیری در برنامه ها نیمه سر'sسی اپیتاکسیبرای طیف گسترده ای از کاربردها، از جمله تولید ترانزیستورهای CMOS، ماسفت های قدرت و ترانزیستورهای اتصال دوقطبی مناسب است. فرآیند انعطاف پذیر ما امکان سفارشی سازی را بر اساس نیازهای خاص پروژه شما فراهم می کند، خواه به لایه های نازک برای کاربردهای فرکانس بالا نیاز داشته باشید یا لایه های ضخیم تر برای دستگاه های برق.
کیفیت مواد برترکیفیت در قلب هر کاری است که ما در Semicera انجام می دهیم. ماسی اپیتاکسیفرآیند از تجهیزات و تکنیک های پیشرفته استفاده می کند تا اطمینان حاصل شود که هر لایه سیلیکونی با بالاترین استانداردهای خلوص و یکپارچگی ساختاری مطابقت دارد. این توجه به جزئیات، بروز عیوب را که می تواند بر عملکرد دستگاه تأثیر بگذارد، به حداقل می رساند و در نتیجه قطعات قابل اعتمادتر و ماندگارتر می شود.
تعهد به نوآوری نیمه سرمتعهد به ماندن در خط مقدم فناوری نیمه هادی است. ماسی اپیتاکسیخدمات منعکس کننده این تعهد هستند و آخرین پیشرفت ها در تکنیک های رشد همپایه را در بر می گیرند. ما به طور مداوم فرآیندهای خود را برای ارائه لایههای سیلیکونی که نیازهای در حال تحول صنعت را برآورده میکنند، اصلاح میکنیم و تضمین میکنیم که محصولات شما در بازار رقابتی باقی میمانند.
راه حل های مناسب برای نیازهای شمادرک اینکه هر پروژه منحصر به فرد است،نیمه سرسفارشی ارائه می دهدسی اپیتاکسیراه حل هایی برای مطابقت با نیازهای خاص شما فرقی نمیکند به پروفیلهای دوپینگ خاصی، ضخامت لایهها یا پرداختهای سطحی نیاز داشته باشید، تیم ما از نزدیک با شما همکاری میکند تا محصولی را ارائه دهد که با مشخصات دقیق شما مطابقت داشته باشد.
موارد | تولید | تحقیق کنید | ساختگی |
پارامترهای کریستال | |||
چند تایپ | 4H | ||
خطای جهت گیری سطح | <11-20 > 0.15±4 درجه | ||
پارامترهای الکتریکی | |||
دوپانت | نیتروژن نوع n | ||
مقاومت | 0.015-0.025 اهم · سانتی متر | ||
پارامترهای مکانیکی | |||
قطر | 0.2±150.0 میلی متر | ||
ضخامت | 25±350 میکرومتر | ||
جهت گیری مسطح اولیه | [1-100] ± 5 درجه | ||
طول تخت اولیه | 47.5±1.5 میلی متر | ||
آپارتمان ثانویه | هیچ کدام | ||
تی تی وی | ≤5 میکرومتر | ≤10 میکرومتر | ≤15 میکرومتر |
LTV | ≤3 میکرومتر (5mm*5mm) | ≤5 میکرومتر (5mm*5mm) | ≤10 میکرومتر (5mm*5mm) |
تعظیم | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
پیچ و تاب | ≤35 میکرومتر | ≤45 میکرومتر | ≤55 میکرومتر |
زبری جلو (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
ساختار | |||
تراکم میکرولوله | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
ناخالصی های فلزی | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
کیفیت جلو | |||
جلو | Si | ||
پرداخت سطح | سی فیس CMP | ||
ذرات | ≤60ea/ویفر (اندازه≥0.3μm) | NA | |
خراش | ≤5ea/mm. طول تجمعی ≤قطر | طول تجمعی≤2*قطر | NA |
پوست پرتقال / حفره / لکه / مخطط / ترک / آلودگی | هیچ کدام | NA | |
تراشه های لبه / فرورفتگی / شکستگی / صفحات شش گوش | هیچ کدام | ||
نواحی پلی تایپ | هیچ کدام | سطح تجمعی ≤20٪ | سطح تجمعی≤30٪ |
علامت گذاری لیزری جلو | هیچ کدام | ||
کیفیت برگشت | |||
پایان پشت | C-face CMP | ||
خراش | ≤5ea/mm، طول تجمعی≤2*قطر | NA | |
عیوب پشت (تراشه های لبه / فرورفتگی) | هیچ کدام | ||
زبری پشت | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
علامت گذاری لیزری پشت | 1 میلی متر (از لبه بالا) | ||
لبه | |||
لبه | چمفر | ||
بسته بندی | |||
بسته بندی | Epi-ready با بسته بندی وکیوم بسته بندی کاست چند ویفر | ||
*نکته: "NA" به معنای عدم درخواست است موارد ذکر نشده ممکن است به SEMI-STD اشاره داشته باشند. |