حلقه فوکوس Solid SiC از Semicera یک جزء پیشرفته است که برای پاسخگویی به نیازهای تولید نیمه هادی پیشرفته طراحی شده است. ساخته شده از خلوص بالاکاربید سیلیکون (SiC)، این حلقه فوکوس برای طیف گسترده ای از کاربردها در صنعت نیمه هادی ها، به ویژه درفرآیندهای CVD SiC، اچ پلاسما وICPRIE (اچینگ یون راکتیو پلاسما جفت شده القایی). این محصول که به دلیل مقاومت در برابر سایش، پایداری حرارتی بالا و خلوص شناخته شده است، عملکرد طولانی مدت را در محیط های پر استرس تضمین می کند.
در نیمه هادیویفرپردازش، حلقه‌های فوکوس SiC جامد در حفظ اچ دقیق در حین اچ کردن خشک و کاربردهای ویفر اچ بسیار مهم هستند. حلقه فوکوس SiC به تمرکز پلاسما در طی فرآیندهایی مانند عملیات دستگاه اچ پلاسما کمک می کند و آن را برای حکاکی ویفرهای سیلیکونی ضروری می کند. مواد جامد SiC مقاومت بی‌نظیری در برابر فرسایش ارائه می‌دهد، طول عمر تجهیزات شما را تضمین می‌کند و زمان خرابی را به حداقل می‌رساند، که برای حفظ توان بالا در ساخت نیمه‌رسانا ضروری است.
حلقه فوکوس Solid SiC از Semicera برای مقاومت در برابر دماهای شدید و مواد شیمیایی تهاجمی که معمولاً در صنعت نیمه هادی ها با آن مواجه می شوند مهندسی شده است. این به طور خاص برای استفاده در کارهای با دقت بالا مانندپوشش های CVD SiC، که در آن خلوص و دوام در درجه اول اهمیت قرار دارد. این محصول با مقاومت عالی در برابر شوک حرارتی، عملکرد پایدار و پایدار را در سخت‌ترین شرایط، از جمله قرار گرفتن در معرض دمای بالا در طولویفرفرآیندهای حکاکی
در کاربردهای نیمه هادی، جایی که دقت و قابلیت اطمینان کلیدی است، حلقه فوکوس SiC جامد نقشی اساسی در افزایش کارایی کلی فرآیندهای اچ دارد. طراحی قوی و با کارایی بالا آن را به گزینه ای عالی برای صنایعی تبدیل می کند که به قطعات با خلوص بالا نیاز دارند که در شرایط سخت کار می کنند. چه استفاده شده درحلقه سی وی دی سی سیحلقه فوکوس Solid SiC Semicera به عنوان بخشی از فرآیند حکاکی پلاسما به بهینه سازی عملکرد تجهیزات شما کمک می کند و طول عمر و قابلیت اطمینان مورد نیاز فرآیندهای تولید را ارائه می دهد.
ویژگی های کلیدی:
• مقاومت در برابر سایش برتر و پایداری حرارتی بالا
• مواد SiC جامد با خلوص بالا برای طول عمر بیشتر
• ایده آل برای اچ پلاسما، ICP RIE، و برنامه های اچ خشک
• ایده آل برای حکاکی ویفر، به ویژه در فرآیندهای CVD SiC
• عملکرد قابل اعتماد در محیط های شدید و دماهای بالا
• دقت و کارایی در حکاکی ویفرهای سیلیکونی را تضمین می کند
برنامه های کاربردی:
• فرآیندهای CVD SiC در تولید نیمه هادی
• اچ پلاسما و سیستم های ICP RIE
• فرآیندهای حکاکی خشک و حکاکی ویفر
• اچ و رسوب در دستگاه های اچ پلاسما
• اجزای دقیق برای حلقه های ویفر و حلقه های CVD SiC
مورفولوژی میکروسکوپی سطح CVD SiC
مورفولوژی میکروسکوپی CVD SiC مقطع
