توضیحات
گیرنده‌های گرافیتی با پوشش SiC Semicera با استفاده از بسترهای گرافیت با کیفیت بالا مهندسی شده‌اند که به دقت با کاربید سیلیکون (SiC) از طریق فرآیندهای رسوب‌دهی بخار شیمیایی (CVD) پیشرفته پوشش داده می‌شوند. این طراحی نوآورانه مقاومت استثنایی در برابر شوک حرارتی و تخریب شیمیایی را تضمین می‌کند، به طور قابل توجهی طول عمر گیره گرافیتی با پوشش SiC را افزایش می‌دهد و عملکرد قابل اعتماد را در طول فرآیند تولید نیمه‌رسانا تضمین می‌کند.
ویژگی های کلیدی：
1. هدایت حرارتی برترگیرنده گرافیت با پوشش SiC رسانایی حرارتی فوق العاده ای را نشان می دهد که برای اتلاف گرمای کارآمد در طول تولید نیمه هادی بسیار مهم است. این ویژگی گرادیان های حرارتی روی سطح ویفر را به حداقل می رساند و توزیع یکنواخت دما را برای دستیابی به خواص نیمه هادی مورد نظر ضروری می کند.
2. مقاوم در برابر شوک شیمیایی و حرارتیپوشش SiC محافظت بسیار خوبی در برابر خوردگی شیمیایی و شوک حرارتی ایجاد می کند و یکپارچگی گیرنده گرافیت را حتی در محیط های پردازش سخت حفظ می کند. این دوام افزایش یافته زمان خرابی را کاهش می دهد و طول عمر را افزایش می دهد و به افزایش بهره وری و کارایی هزینه در تاسیسات تولید نیمه هادی کمک می کند.
3. سفارشی سازی برای نیازهای خاصگیرنده‌های گرافیت با پوشش SiC ما می‌توانند برای برآوردن نیازها و اولویت‌های خاص طراحی شوند. ما طیف وسیعی از گزینه‌های سفارشی‌سازی، از جمله تنظیمات اندازه و تغییرات در ضخامت پوشش را برای اطمینان از انعطاف‌پذیری طراحی و عملکرد بهینه برای برنامه‌ها و پارامترهای فرآیند مختلف ارائه می‌کنیم.
برنامه های کاربردی：
کاربردها پوشش های Semicera SiC در مراحل مختلف ساخت نیمه هادی ها مورد استفاده قرار می گیرند، از جمله:
1. ساخت تراشه LED
2. تولید پلی سیلیکون
3. رشد کریستال نیمه هادی
4. اپیتاکسی سیلیکون و SiC
5. اکسیداسیون و انتشار حرارتی (TO&D)
مشخصات فنی：
