بررسی اجمالی محصول
راپدل و حامل ویفر کاربید سیلیکون آغشته به سیلیکون (SiC)برای برآورده کردن الزامات مورد نیاز کاربردهای پردازش حرارتی نیمه هادی مهندسی شده است. این محصول که از SiC با خلوص بالا ساخته شده و از طریق اشباع سیلیکون تقویت شده است، ترکیبی منحصر به فرد از عملکرد در دمای بالا، هدایت حرارتی عالی، مقاومت در برابر خوردگی و استحکام مکانیکی فوق العاده را ارائه می دهد.
با ادغام علم مواد پیشرفته با ساخت دقیق، این راه حل عملکرد، قابلیت اطمینان و دوام برتر را برای تولید کنندگان نیمه هادی تضمین می کند.
ویژگی های کلیدی
1.مقاومت استثنایی در برابر دمای بالا
با نقطه ذوب بیش از 2700 درجه سانتیگراد، مواد SiC ذاتاً تحت گرمای شدید پایدار هستند. اشباع سیلیکونی پایداری حرارتی آنها را بیشتر افزایش می دهد و به آنها اجازه می دهد تا در معرض قرار گرفتن طولانی مدت در دماهای بالا بدون تضعیف ساختار یا تخریب عملکرد مقاومت کنند.
2.هدایت حرارتی برتر
هدایت حرارتی استثنایی SiC آغشته به سیلیکون، توزیع یکنواخت گرما را تضمین میکند و تنش حرارتی را در مراحل حساس پردازش کاهش میدهد. این ویژگی طول عمر تجهیزات را افزایش می دهد و زمان خرابی تولید را به حداقل می رساند و آن را برای پردازش حرارتی در دمای بالا ایده آل می کند.
3.مقاومت در برابر اکسیداسیون و خوردگی
یک لایه اکسید سیلیکون قوی به طور طبیعی بر روی سطح تشکیل می شود که مقاومت فوق العاده ای در برابر اکسیداسیون و خوردگی ایجاد می کند. این امر قابلیت اطمینان طولانی مدت را در محیط های عملیاتی سخت تضمین می کند و از مواد و اجزای اطراف محافظت می کند.
4.استحکام مکانیکی بالا و مقاومت در برابر سایش
SiC آغشته به سیلیکون دارای استحکام فشاری و مقاومت در برابر سایش عالی است و یکپارچگی ساختاری خود را در شرایط بار بالا و دمای بالا حفظ می کند. این امر خطر آسیب ناشی از سایش را کاهش می دهد و عملکرد ثابت را در طول چرخه های طولانی مدت استفاده تضمین می کند.
مشخصات
نام محصول | SC-RSiC-Si |
مواد | سیلیکون اشباع سیلیکون کاربید فشرده (خلوص بالا) |
برنامه های کاربردی | قطعات عملیات حرارتی نیمه هادی، قطعات تجهیزات ساخت نیمه هادی |
فرم تحویل | بدنه قالبی (بدنه سینتر شده) |
ترکیب | خواص مکانیکی | مدول یانگ (GPA) | مقاومت خمشی (MPa) | ||
ترکیب (جلد٪) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
82 | 18 | 800 درجه سانتی گراد | 360 | 220 | |
چگالی ظاهری (kg/m³) | 3.02 x 103 | 1200 درجه سانتی گراد | 340 | 220 | |
دمای ضد حرارت درجه سانتی گراد | 1350 | نسبت پواسون | 0.18 (RT) | ||
خواص حرارتی | هدایت حرارتی (W/(m· K)) | ظرفیت حرارتی خاص (kJ/(kg·K)) | ضریب انبساط حرارتی (1/K) | ||
RT | 220 | 0.7 | RT~700 درجه سانتیگراد | 3.4 × 10-6 | |
700 درجه سانتی گراد | 60 | 1.23 | 700 تا 1200 درجه سانتیگراد | 4.3 x 10-6 |
محتوای ناخالصی ((ppm) | |||||||||||||
عنصر | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
نرخ محتوا | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
برنامه های کاربردی
▪پردازش حرارتی نیمه هادی:ایده آل برای فرآیندهایی مانند رسوب شیمیایی بخار (CVD)، رشد همپایه، و بازپخت، که در آن کنترل دقیق دما و دوام مواد حیاتی است.
▪حامل ویفر و پارو:طراحی شده برای نگهداری و حمل و نقل ایمن ویفرها در طول عملیات حرارتی با دمای بالا.
▪محیط های عملیاتی شدید: مناسب برای تنظیماتی که نیاز به مقاومت در برابر گرما، قرار گرفتن در معرض مواد شیمیایی و استرس مکانیکی دارند.
مزایای SiC آغشته به سیلیکون
ترکیبی از کاربید سیلیکون با خلوص بالا و فناوری پیشرفته اشباع سیلیکون مزایای عملکردی بی نظیری را ارائه می دهد:
▪دقت:دقت و کنترل پردازش نیمه هادی را افزایش می دهد.
▪ثبات:در برابر محیط های خشن بدون به خطر انداختن عملکرد مقاومت می کند.
▪طول عمر:عمر مفید تجهیزات تولید نیمه هادی را افزایش می دهد.
▪کارایی:با حصول اطمینان از نتایج قابل اعتماد و ثابت، بهره وری را بهبود می بخشد.
چرا راه حل های SiC آغشته به سیلیکون را انتخاب کنید؟
At نیمه سر، ما در ارائه راه حل های با کارایی بالا متناسب با نیازهای تولید کنندگان نیمه هادی تخصص داریم. پدال و حامل ویفر کاربید سیلیکون آغشته به سیلیکون ما تحت آزمایش های دقیق و تضمین کیفیت قرار می گیرند تا استانداردهای صنعت را برآورده کنند. با انتخاب Semicera، به مواد پیشرفته ای دسترسی پیدا می کنید که برای بهینه سازی فرآیندهای تولید و افزایش قابلیت های تولید شما طراحی شده اند.
مشخصات فنی
▪ترکیب مواد:کاربید سیلیکون با خلوص بالا با اشباع سیلیکون.
▪محدوده دمای عملیاتی:تا 2700 درجه سانتیگراد
▪ هدایت حرارتی:فوق العاده بالا برای توزیع یکنواخت گرما.
▪خواص مقاومتی:مقاوم در برابر اکسیداسیون، خوردگی و سایش.
▪برنامه های کاربردی:سازگار با سیستم های مختلف پردازش حرارتی نیمه هادی.
تماس با ما
برای ارتقای فرآیند تولید نیمه هادی خود آماده اید؟ تماس بگیریدنیمه سرامروز برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد دست و پا و حامل ویفر کاربید سیلیکون آغشته به سیلیکون.
▪ایمیل: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪تلفن: +86-0574-8650 3783
▪مکان:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High Tech, Zone, Province Zhejiang, 315201, China