کاربید تانتالم (TaC)یک ماده سرامیکی مقاوم در برابر درجه حرارت فوق العاده بالا با مزایای نقطه ذوب بالا، سختی بالا، پایداری شیمیایی خوب، هدایت الکتریکی و حرارتی قوی و غیره است.پوشش TaCمی تواند به عنوان پوشش مقاوم در برابر فرسایش، پوشش مقاوم در برابر اکسیداسیون و پوشش مقاوم در برابر سایش استفاده شود و به طور گسترده در حفاظت حرارتی هوافضا، رشد تک کریستال نیمه هادی نسل سوم، الکترونیک انرژی و سایر زمینه ها استفاده می شود.
فرآیند:
کاربید تانتالم (TaC)نوعی ماده سرامیکی مقاوم در برابر درجه حرارت بالا با مزایای نقطه ذوب بالا، سختی بالا، پایداری شیمیایی خوب، هدایت الکتریکی و حرارتی قوی است. بنابراین،پوشش TaCمی تواند به عنوان پوشش مقاوم در برابر فرسایش، پوشش مقاوم در برابر اکسیداسیون و پوشش مقاوم در برابر سایش استفاده شود و به طور گسترده در حفاظت حرارتی هوافضا، رشد تک کریستال نیمه هادی نسل سوم، الکترونیک انرژی و سایر زمینه ها استفاده می شود.
خصوصیات ذاتی پوشش ها:
برای تهیه از روش دوغاب تف جوشی استفاده می کنیمپوشش های TaCبا ضخامت های مختلف بر روی بسترهای گرافیتی با اندازه های مختلف. ابتدا، پودر با خلوص بالا حاوی منبع Ta و منبع C با پخش کننده و بایندر پیکربندی می شود تا یک دوغاب پیش ساز یکنواخت و پایدار تشکیل دهد. در عین حال، با توجه به اندازه قطعات گرافیت و ضخامت مورد نیازپوشش TaC، پیش پوشش با پاشش، ریختن، نفوذ و اشکال دیگر تهیه می شود. در نهایت تا دمای بالای 2200 درجه سانتیگراد در محیط خلاء حرارت داده می شود تا حالتی یکنواخت، متراکم، تک فاز و به خوبی کریستالی ایجاد شود.پوشش TaC.
خصوصیات ذاتی پوشش ها:
ضخامت ازپوشش TaCحدود 10-50 میکرومتر است، دانه‌ها در جهت آزاد رشد می‌کنند و از TaC با ساختار مکعبی تک فاز و بدون ناخالصی‌های دیگر تشکیل شده است. پوشش متراکم است، ساختار کامل است، و بلورینگی بالا است.پوشش TaCمی تواند منافذ روی سطح گرافیت را پر کند و از نظر شیمیایی با ماتریس گرافیت با استحکام پیوند بالا پیوند خورده است. نسبت Ta به C در پوشش نزدیک به 1:1 است. استاندارد مرجع تشخیص خلوص GDMS ASTM F1593، غلظت ناخالصی کمتر از 121ppm است. میانگین حسابی انحراف (Ra) نمایه پوشش 662 نانومتر است.
کاربردهای عمومی:
GaN واپیتاکسیال SiCاجزای راکتور CVD، از جمله حامل های ویفر، ظروف ماهواره ای، سر دوش، روکش های بالایی و گیرنده ها.
اجزای رشد کریستال SiC، GaN و AlN، از جمله بوته ها، نگهدارنده های کریستال دانه، راهنماهای جریان و فیلترها.
اجزای صنعتی، از جمله عناصر گرمایش مقاومتی، نازل ها، حلقه های محافظ و وسایل لحیم کاری.
ویژگی های کلیدی:
پایداری دمای بالا در 2600 ℃
حفاظت حالت پایدار را در محیط های شیمیایی خشن H2، NH3SiH4و بخار سی
مناسب برای تولید انبوه با چرخه تولید کوتاه.
