حلقه های راهنمای گرافیت با پوشش TaCرجوع به رسوب یک لایه نازک شودکاربید تانتالیومبر روی سطح یک حلقه راهنمای گرافیت برای بهبود مقاومت در برابر سایش، مقاومت در برابر دمای بالا و پایداری شیمیایی. این پوشش معمولا بر روی سطح یک حلقه راهنمای گرافیت با تکنیک هایی مانند رسوب فیزیکی بخار (PVD) یا رسوب بخار شیمیایی (CVD) تشکیل می شود.
Semicera پوشش های تخصصی کاربید تانتالیوم (TaC) را برای اجزا و حامل های مختلف ارائه می دهد.فرآیند پوشش پیشرو Semicera، پوشش‌های کاربید تانتالیوم (TaC) را قادر می‌سازد تا به خلوص بالا، پایداری در دمای بالا و تحمل شیمیایی بالا دست پیدا کنند و کیفیت محصول کریستال‌های SIC/GAN و لایه‌های EPI را بهبود بخشد.گیرنده TaC پوشش داده شده با گرافیت، و افزایش عمر اجزای اصلی راکتور. استفاده از پوشش TaC کاربید تانتالم برای حل مشکل لبه و بهبود کیفیت رشد کریستال است و Semicera موفق شده است فناوری پوشش کاربید تانتالم (CVD) را حل کند و به سطح پیشرفته بین المللی برسد.
ویژگی های اصلی حلقه های راهنمای گرافیت با پوشش TaC عبارتند از:
1. مقاومت در برابر دمای بالا: پوشش TaC دارای پایداری عالی در دمای بالا است و می تواند ثبات را در محیط های با دمای بالا حفظ کند.
2. مقاومت در برابر سایش: سختی بالای لایه نازک کاربید تانتالم به حلقه راهنما مقاومت سایش خوبی می دهد و عمر مفید آن را افزایش می دهد.
3. پایداری شیمیایی: پوشش TaC دارای پایداری بالایی در برابر خوردگی شیمیایی است که آن را برای کاربرد در برخی از محیط های خورنده مناسب می کند.
4. کاهش اصطکاک: پوشش TaC می تواند به طور موثر اصطکاک بین حلقه راهنمای گرافیت و سایر اجزا را کاهش دهد و کارایی مهر و موم های مکانیکی را بهبود بخشد.
با و بدون TaC
پس از استفاده از TaC (سمت راست)
علاوه بر این، Semicera'sمحصولات با پوشش TaCطول عمر بیشتر و مقاومت در برابر دمای بالا را در مقایسه باپوشش های SiC.اندازه گیری های آزمایشگاهی نشان داده است که ماپوشش های TaCمی تواند به طور مداوم در دمای 2300 درجه سانتیگراد برای دوره های طولانی کار کند. در زیر چند نمونه از نمونه های ما آورده شده است:
