پوشش CVD TaC

مقدمه ای بر پوشش CVD TaC:

پوشش CVD TaC یک فناوری است که از رسوب شیمیایی بخار برای رسوب پوشش کاربید تانتالم (TaC) بر روی سطح یک بستر استفاده می کند. کاربید تانتالیوم یک ماده سرامیکی با کارایی بالا با خواص مکانیکی و شیمیایی عالی است. فرآیند CVD یک فیلم TaC یکنواخت را بر روی سطح بستر از طریق واکنش گاز ایجاد می کند.

ویژگی های اصلی:

سختی و مقاومت در برابر سایش عالی: کاربید تانتالم سختی بسیار بالایی دارد و پوشش CVD TaC می تواند مقاومت سایشی زیرلایه را به میزان قابل توجهی بهبود بخشد. این باعث می شود که پوشش برای کاربرد در محیط های با سایش بالا، مانند ابزارهای برش و قالب، ایده آل باشد.

پایداری در دمای بالا: پوشش‌های TaC از اجزای مهم کوره و راکتور در دمای تا 2200 درجه سانتیگراد محافظت می‌کنند و پایداری خوبی را نشان می‌دهند. پایداری شیمیایی و مکانیکی را در شرایط دمایی شدید حفظ می‌کند و آن را برای پردازش در دمای بالا و کاربرد در محیط‌های با دمای بالا مناسب می‌سازد.

پایداری شیمیایی عالی: کاربید تانتالم در برابر اکثر اسیدها و قلیاها مقاومت در برابر خوردگی قوی دارد و پوشش CVD TaC می تواند به طور موثری از آسیب به بستر در محیط های خورنده جلوگیری کند.

نقطه ذوب بالا: کاربید تانتالم نقطه ذوب بالایی دارد (تقریباً 3880 درجه سانتیگراد) که به پوشش CVD TaC اجازه می دهد تا در شرایط دمایی بسیار بالا بدون ذوب یا تخریب استفاده شود.

هدایت حرارتی عالی: پوشش TaC دارای رسانایی حرارتی بالایی است که به اتلاف موثر گرما در فرآیندهای با دمای بالا و جلوگیری از گرمای بیش از حد موضعی کمک می کند.

برنامه های کاربردی بالقوه:

• اجزای راکتور CVD همپایه نیترید گالیوم (GaN) و کاربید سیلیکون شامل حامل ویفر، ظروف ماهواره‌ای، سر دوش، سقف، و گیرنده‌ها

• اجزای رشد کریستال کاربید سیلیکون، نیترید گالیم و نیترید آلومینیوم (AlN) از جمله بوته ها، نگهدارنده های دانه، حلقه های راهنما و فیلترها

• اجزای صنعتی از جمله عناصر گرمایش مقاومتی، نازل های تزریق، حلقه های ماسک و جگ های لحیم کاری

ویژگی های برنامه:

• دمای بالای 2000 درجه سانتیگراد پایدار است که امکان کار در دماهای شدید را فراهم می کند
•مقاوم در برابر هیدروژن (Hz)، آمونیاک (NH3)، مونوسیلان (SiH4) و سیلیکون (Si)، ارائه حفاظت در محیط های شیمیایی خشن
• مقاومت در برابر شوک حرارتی سیکل های عملیاتی سریعتر را ممکن می سازد
• گرافیت دارای چسبندگی قوی است که عمر طولانی را تضمین می کند و بدون لایه لایه شدن پوشش.
• خلوص فوق العاده بالا برای از بین بردن ناخالصی ها یا آلودگی های غیر ضروری
• پوشش پوشش منسجم تا تلورانس های ابعادی محکم

مشخصات فنی:

تهیه پوشش های متراکم کاربید تانتالیوم توسط CVD：