TaC Coated Plate یک دیسک تخصصی است که برای استفاده در فرآیندهای اپیتاکسیال SiC طراحی شده است که با دقت از مواد گرافیت با کیفیت بالا ساخته شده است. سطح آن به دقت با کاربید تانتالم (TaC) پوشانده شده است، ترکیبی که به دلیل خلوص و استحکام استثنایی آن شناخته شده است. پوشش TaC دوام و مقاومت صفحه را در برابر دماهای بالا افزایش می دهد و آن را برای شرایط سخت فرآیندهای همپایی SiC ایده آل می کند.
این صفحه ابتکاری با پوشش TaC یک دیسک تخصصی است که برای استفاده در فرآیندهای همپایی SiC طراحی شده است که با دقت از مواد گرافیت با کیفیت بالا ساخته شده است. سطح صفحه با پوشش TaC به دقت با کاربید تانتالم (TaC) پوشانده شده است، ترکیبی که به دلیل خلوص و استحکام استثنایی آن شناخته شده است. به عنوان یک پلت فرم قابل اعتماد برای حمل ویفرها در مراحل مختلف رشد اپیتاکسیال SiC عمل می کند. پایه گرافیتی با خلوص بالا یک سطح پایدار و بی اثر را فراهم می کند، در حالی که پوشش TaC یک لایه محافظتی اضافی در برابر واکنش های شیمیایی و سایش اضافه می کند.
نیمهدورانصفحه پوشش دار TaC با توجه به نیازهای خاص مشتریان سفارشی می شود و عملکرد بهینه و سازگاری با سیستم های همپایی SiC آنها را تضمین می کند. چه اندازه، شکل یا سایر مشخصات، این صفحات برای رفع نیازهای منحصر به فرد هر برنامه طراحی شده اند.
با و بدون TaC
پس از استفاده از TaC (سمت راست)
علاوه بر این، Semicera'sمحصولات با پوشش TaCطول عمر بیشتر و مقاومت در برابر دمای بالا را در مقایسه باپوشش های SiC.اندازه گیری های آزمایشگاهی نشان داده است که ماپوشش های TaCمی تواند به طور مداوم در دمای 2300 درجه سانتیگراد برای دوره های طولانی کار کند. در زیر چند نمونه از نمونه های ما آورده شده است:
