Semicera پوشش های تخصصی کاربید تانتالیوم (TaC) را برای اجزا و حامل های مختلف ارائه می دهد.فرآیند پوشش پیشرو Semicera، پوشش‌های کاربید تانتالیوم (TaC) را قادر می‌سازد تا به خلوص بالا، پایداری در دمای بالا و تحمل شیمیایی بالا دست پیدا کنند و کیفیت محصول کریستال‌های SIC/GAN و لایه‌های EPI را بهبود بخشد.گیرنده TaC پوشش داده شده با گرافیت، و افزایش عمر اجزای اصلی راکتور. استفاده از پوشش TaC کاربید تانتالم برای حل مشکل لبه و بهبود کیفیت رشد کریستال است و Semicera موفق شده است فناوری پوشش کاربید تانتالم (CVD) را حل کند و به سطح پیشرفته بین المللی برسد.
حامل های ویفر با روکش کاربید تانتالیوم به طور گسترده در فرآیندهای پردازش و جابجایی ویفر در فرآیندهای تولید نیمه هادی استفاده می شود. آنها پشتیبانی و حفاظت پایدار را برای اطمینان از ایمنی، دقت و قوام ویفرها در طول فرآیند تولید ارائه می دهند. پوشش های کاربید تانتالیوم می توانند طول عمر حامل را افزایش دهند، هزینه ها را کاهش دهند و کیفیت و قابلیت اطمینان محصولات نیمه هادی را بهبود بخشند.
شرح حامل ویفر با پوشش کاربید تانتالیوم به شرح زیر است:
1. انتخاب مواد: کاربید تانتالم ماده ای با عملکرد عالی، سختی بالا، نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر خوردگی و خواص مکانیکی عالی است، بنابراین به طور گسترده در فرآیند تولید نیمه هادی استفاده می شود.
2. پوشش سطحی: پوشش کاربید تانتالوم از طریق یک فرآیند پوشش ویژه بر روی سطح حامل ویفر اعمال می شود تا پوشش کاربید تانتالیوم یکنواخت و متراکم را تشکیل دهد. این پوشش می تواند حفاظت اضافی و مقاومت در برابر سایش را فراهم کند، در حالی که هدایت حرارتی خوبی دارد.
3. صافی و دقت: حامل ویفر با روکش کاربید تانتالیوم دارای درجه صافی و دقت بالایی است که از ثبات و دقت ویفرها در طول فرآیند تولید اطمینان می دهد. صافی و پرداخت سطح حامل برای اطمینان از کیفیت و عملکرد ویفر بسیار مهم است.
4. پایداری دما: حامل‌های ویفر با پوشش کاربید تانتالم می‌توانند در محیط‌های با دمای بالا بدون تغییر شکل یا شل شدن، ثبات و پایداری ویفرها را در فرآیندهای دمای بالا تضمین کنند.
5. مقاومت در برابر خوردگی: پوشش های کاربید تانتالوم دارای مقاومت در برابر خوردگی عالی هستند، می توانند در برابر فرسایش مواد شیمیایی و حلال ها مقاومت کنند و حامل را از خوردگی مایع و گاز محافظت کنند.
با و بدون TaC
پس از استفاده از TaC (سمت راست)
علاوه بر این، Semicera'sمحصولات با پوشش TaCطول عمر بیشتر و مقاومت در برابر دمای بالا را در مقایسه باپوشش های SiC.اندازه گیری های آزمایشگاهی نشان داده است که ماپوشش های TaCمی تواند به طور مداوم در دمای 2300 درجه سانتیگراد برای دوره های طولانی کار کند. در زیر چند نمونه از نمونه های ما آورده شده است:
