نیمه سرچاک پوششی TaC، چاک وکیوم پیشرفته مجهز بهپوشش های TaC، به طور خاص برای کوره های نیمه هادی طراحی شده است. این فناوری نوآورانه که برای پاسخگویی به نیازهای دقیق فرآیندهای تولید نیمه هادی مدرن طراحی شده است، استاندارد جدیدی را برای دقت، قابلیت اطمینان و طول عمر ایجاد می کند.
در قلب ساخت نیمه هادی ها نیاز حیاتی به کنترل دقیق و پایداری در طول پردازش نهفته است. چاک پوشش TaC این نیاز را با یکپارچه سازی پیشرفته برطرف می کندپوشش های TaC (کاربید تانتالوم).بر روی سطح آن، پایداری حرارتی استثنایی، دوام و مقاومت در برابر خوردگی شیمیایی را تضمین می کند. این ترکیب منحصر به فرد از مواد نه تنها عملکرد چاک را افزایش می دهد، بلکه طول عمر عملیاتی آن را نیز افزایش می دهد و نتایج ثابتی را در چرخه های بی شماری ارائه می دهد.
یکی از مزایای کلیدی چاک پوششی TaC توانایی آن در حفظ سطح بالایی از یکپارچگی خلاء در کل چرخه پردازش است. این فناوری با به حداقل رساندن موثر گازهای خروجی و آلودگی، خلوص و کیفیت مواد نیمه هادی را تضمین می کند و در نتیجه عملکرد و قابلیت اطمینان دستگاه برتر است.
علاوه بر این، چاک پوششی TaC تطبیق پذیری بی نظیری را ارائه می دهد و طیف گسترده ای از بسترهای نیمه هادی را با اندازه ها و هندسه های مختلف در خود جای می دهد. طراحی قابل تنظیم چاک پوششی TaC امکان ادغام یکپارچه در سیستم های کوره های نیمه هادی موجود را فراهم می کند و زمان خرابی را به حداقل می رساند و بهره وری را به حداکثر می رساند.
با چاک پوششی TaC، تولیدکنندگان نیمه هادی می توانند به توان عملیاتی بالاتر، عملکرد بهتر و کاهش هزینه های کلی دست یابند. چه در آزمایشگاههای تحقیقاتی و چه در تأسیسات تولید با حجم بالا، این فناوری پیشرفته به متخصصان نیمهرسانا قدرت میدهد تا مرزهای نوآوری را با حفظ استانداردهای کیفیت سختگیرانه پیش ببرند.
با و بدون TaC
پس از استفاده از TaC (سمت راست)
علاوه بر این، Semicera'sمحصولات با پوشش TaCطول عمر بیشتر و مقاومت در برابر دمای بالا را در مقایسه باپوشش های SiC.اندازه گیری های آزمایشگاهی نشان داده است که ماپوشش های TaCمی تواند به طور مداوم در دمای 2300 درجه سانتیگراد برای دوره های طولانی کار کند. در زیر چند نمونه از نمونه های ما آورده شده است: