صفحه نگهدارنده با روکش کاربید تانتالمیک سوسپتور یا ساختار پشتیبانی است که با یک لایه نازک پوشیده شده استکاربید تانتالیوم. این پوشش را می توان با تکنیک هایی مانند رسوب فیزیکی بخار (PVD) یا رسوب بخار شیمیایی (CVD) بر روی سطح گیرنده تشکیل داد که به گیرنده خواص برتری می دهد.کاربید تانتالیوم.
Semicera پوشش های تخصصی کاربید تانتالیوم (TaC) را برای اجزا و حامل های مختلف ارائه می دهد.فرآیند پوشش پیشرو Semicera، پوشش‌های کاربید تانتالیوم (TaC) را قادر می‌سازد تا به خلوص بالا، پایداری در دمای بالا و تحمل شیمیایی بالا دست پیدا کنند و کیفیت محصول کریستال‌های SIC/GAN و لایه‌های EPI را بهبود بخشد.گیرنده TaC پوشش داده شده با گرافیت، و افزایش عمر اجزای اصلی راکتور. استفاده از پوشش TaC کاربید تانتالم برای حل مشکل لبه و بهبود کیفیت رشد کریستال است و Semicera موفق شده است فناوری پوشش کاربید تانتالم (CVD) را حل کند و به سطح پیشرفته بین المللی برسد.
ویژگی های اصلی صفحات پشتیبانی با روکش کاربید تانتالوم عبارتند از:
1. پایداری در دمای بالا: کاربید تانتالوم دارای پایداری عالی در دمای بالا است، و صفحه پشتیبانی پایه پوشش داده شده را برای نیازهای پشتیبانی در محیط های کاری با دمای بالا مناسب می کند.
2. مقاومت در برابر خوردگی: پوشش کاربید تانتالوم دارای مقاومت در برابر خوردگی خوب است، می تواند در برابر خوردگی و اکسیداسیون شیمیایی مقاومت کند و طول عمر پایه را افزایش دهد.
3. سختی بالا و مقاومت در برابر سایش: سختی بالای پوشش کاربید تانتالم به صفحه پشتیبانی پایه مقاومت سایش خوبی می دهد که برای مواردی که نیاز به مقاومت در برابر سایش بالا دارند مناسب است.
4. پایداری شیمیایی: کاربید تانتالیم پایداری بالایی در برابر انواع مواد شیمیایی دارد و باعث می شود صفحه پایه پوشش داده شده در برخی از محیط های خورنده عملکرد خوبی داشته باشد.
با و بدون TaC
پس از استفاده از TaC (سمت راست)
علاوه بر این، Semicera'sمحصولات با پوشش TaCطول عمر بیشتر و مقاومت در برابر دمای بالا را در مقایسه باپوشش های SiC.اندازه گیری های آزمایشگاهی نشان داده است که ماپوشش های TaCمی تواند به طور مداوم در دمای 2300 درجه سانتیگراد برای دوره های طولانی کار کند. در زیر چند نمونه از نمونه های ما آورده شده است:
