محافظ EPI پوشش CVD کاربید تانتالم

توضیحات کوتاه:

گرافیت یک ماده عالی در دمای بالا است، اما در دماهای بالا به راحتی اکسید می شود. حتی در کوره های خلاء با گاز بی اثر، هنوز هم می تواند تحت اکسیداسیون آهسته قرار گیرد. استفاده از روکش کاربید تانتالیوم CVD (TaC) می تواند به طور موثر از بستر گرافیت محافظت کند و همان مقاومت در برابر گرافیت را در دمای بالا ایجاد کند. TaC نیز یک ماده بی اثر است، به این معنی که در دماهای بالا با گازهایی مانند آرگون یا هیدروژن واکنش نمی دهد.استعلاممحافظ EPI پوشش CVD کاربید تانتالم اکنون

 


جزئیات محصول

برچسب های محصول

Semicera پوشش های تخصصی کاربید تانتالیوم (TaC) را برای اجزا و حامل های مختلف ارائه می دهد.فرآیند پوشش پیشرو Semicera، پوشش‌های کاربید تانتالیوم (TaC) را قادر می‌سازد تا به خلوص بالا، پایداری در دمای بالا و تحمل شیمیایی بالا دست پیدا کنند و کیفیت محصول کریستال‌های SIC/GAN و لایه‌های EPI را بهبود بخشد.گیرنده TaC پوشش داده شده با گرافیت، و افزایش عمر اجزای اصلی راکتور. استفاده از پوشش TaC کاربید تانتالم برای حل مشکل لبه و بهبود کیفیت رشد کریستال است و Semicera موفق شده است فناوری پوشش کاربید تانتالم (CVD) را حل کند و به سطح پیشرفته بین المللی برسد.

 

گرافیت یک ماده عالی در دمای بالا است، اما در دماهای بالا به راحتی اکسید می شود. حتی در کوره های خلاء با گاز بی اثر، هنوز هم می تواند تحت اکسیداسیون آهسته قرار گیرد. استفاده از روکش کاربید تانتالیوم CVD (TaC) می تواند به طور موثر از بستر گرافیت محافظت کند و همان مقاومت در برابر گرافیت را در دمای بالا ایجاد کند. TaC نیز یک ماده بی اثر است، به این معنی که در دماهای بالا با گازهایی مانند آرگون یا هیدروژن واکنش نمی دهد.استعلاممحافظ EPI پوشش CVD کاربید تانتالم اکنون

پس از سال‌ها توسعه، Semicera توانسته است فناوری را فتح کندCVD TaCبا تلاش مشترک بخش تحقیق و توسعه نقص در فرآیند رشد ویفرهای SiC به راحتی رخ می دهد، اما پس از استفادهTaC، تفاوت قابل توجه است. در زیر مقایسه ای از ویفرها با و بدون TaC و همچنین قطعات Simicera برای رشد تک کریستال آورده شده است.

微信图片_20240227150045

با و بدون TaC

微信图片_20240227150053

پس از استفاده از TaC (سمت راست)

علاوه بر این، Semicera'sمحصولات با پوشش TaCطول عمر بیشتر و مقاومت در برابر دمای بالا را در مقایسه باپوشش های SiC.اندازه گیری های آزمایشگاهی نشان داده است که ماپوشش های TaCمی تواند به طور مداوم در دمای 2300 درجه سانتیگراد برای دوره های طولانی کار کند. در زیر چند نمونه از نمونه های ما آورده شده است:

 
0 (1)
محل کار Semicera
محل کار Semicera 2
دستگاه تجهیزات
انباری Semicera
پردازش CNN، تمیز کردن شیمیایی، پوشش CVD
خدمات ما

  • قبلی:
  • بعدی: