Semicera را معرفی می کندنوار کاست ویفرراه حلی حیاتی برای جابجایی ایمن و کارآمد ویفرهای نیمه هادی. این حامل طوری طراحی شده است که الزامات سختگیرانه صنعت نیمه هادی را برآورده کند و از محافظت و یکپارچگی ویفرهای شما در طول فرآیند تولید اطمینان حاصل کند.
ویژگی های کلیدی:
•ساخت و ساز قوی:رانوار کاست ویفراز مواد با کیفیت و بادوام ساخته شده است که در برابر سختی های محیط های نیمه هادی مقاومت می کند و محافظت قابل اعتمادی در برابر آلودگی و آسیب فیزیکی ایجاد می کند.
•تراز دقیق:طراحی شده برای تراز دقیق ویفر، این حامل تضمین می کند که ویفرها به طور ایمن در جای خود قرار می گیرند و خطر ناهماهنگی یا آسیب در حین حمل و نقل را به حداقل می رساند.
•جابجایی آسان:با طراحی ارگونومیک برای سهولت در استفاده، حامل فرآیند بارگیری و تخلیه را ساده می کند و کارایی گردش کار را در محیط های اتاق تمیز بهبود می بخشد.
•سازگاری:سازگار با طیف گسترده ای از اندازه ها و انواع ویفر، و آن را برای نیازهای مختلف تولید نیمه هادی ها همه کاره می کند.
محافظت و راحتی بی نظیر را با Semicera تجربه کنیدنوار کاست ویفر. حامل ما به گونه ای طراحی شده است که بالاترین استانداردهای تولید نیمه هادی را برآورده کند و اطمینان حاصل کند که ویفرهای شما از ابتدا تا انتها در شرایط بکر باقی می مانند. به Semicera برای ارائه کیفیت و قابلیت اطمینان مورد نیاز برای حیاتی ترین فرآیندهای خود اعتماد کنید.
| موارد | تولید | تحقیق کنید | ساختگی |
| پارامترهای کریستال | |||
| چند تایپ | 4H | ||
| خطای جهت گیری سطح | <11-20 > 0.15±4 درجه | ||
| پارامترهای الکتریکی | |||
| دوپانت | نیتروژن نوع n | ||
| مقاومت | 0.015-0.025 اهم · سانتی متر | ||
| پارامترهای مکانیکی | |||
| قطر | 0.2±150.0 میلی متر | ||
| ضخامت | 25±350 میکرومتر | ||
| جهت گیری مسطح اولیه | [1-100] ± 5 درجه | ||
| طول تخت اولیه | 47.5±1.5 میلی متر | ||
| آپارتمان ثانویه | هیچ کدام | ||
| تی تی وی | ≤5 میکرومتر | ≤10 میکرومتر | ≤15 میکرومتر |
| LTV | ≤3 میکرومتر (5mm*5mm) | ≤5 میکرومتر (5mm*5mm) | ≤10 میکرومتر (5mm*5mm) |
| تعظیم | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| پیچ و تاب | ≤35 میکرومتر | ≤45 میکرومتر | ≤55 میکرومتر |
| زبری جلو (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ساختار | |||
| تراکم میکرولوله | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ناخالصی های فلزی | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| کیفیت جلو | |||
| جلو | Si | ||
| پرداخت سطح | سی فیس CMP | ||
| ذرات | ≤60ea/ویفر (اندازه≥0.3μm) | NA | |
| خراش | ≤5ea/mm. طول تجمعی ≤قطر | طول تجمعی≤2*قطر | NA |
| پوست پرتقال / حفره / لکه / مخطط / ترک / آلودگی | هیچ کدام | NA | |
| تراشه های لبه / فرورفتگی / شکستگی / صفحات شش گوش | هیچ کدام | ||
| نواحی پلی تایپ | هیچ کدام | سطح تجمعی ≤20٪ | سطح تجمعی≤30٪ |
| علامت گذاری لیزری جلو | هیچ کدام | ||
| کیفیت برگشت | |||
| پایان پشت | C-face CMP | ||
| خراش | ≤5ea/mm، طول تجمعی≤2*قطر | NA | |
| عیوب پشت (تراشه های لبه / فرورفتگی) | هیچ کدام | ||
| زبری پشت | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| علامت گذاری لیزری پشت | 1 میلی متر (از لبه بالا) | ||
| لبه | |||
| لبه | چمفر | ||
| بسته بندی | |||
| بسته بندی | Epi-ready با بسته بندی وکیوم بسته بندی کاست چند ویفر | ||
| *نکته: "NA" به معنای عدم درخواست است موارد ذکر نشده ممکن است به SEMI-STD اشاره داشته باشند. | |||
