ویفر منطقه شناور با روش ذوب منطقه شناور (روش ذوب منطقه شناور)، همچنین به عنوان ویفر ذوب منطقه، ویفر FZ شناخته می شود، یک ویفر سیلیکونی با خلوص بالا است، می تواند جایگزین فرآیند مستقیم کشیده شده CZ از ویفرهای سیلیکونی شود.در مقایسه با ویفرهای تولید شده با روش CZ، ویفرهای زون دار دارای مزایای زیادی مانند عدم وجود بوته، بار تولید پایین و عدم محدودیت نقطه ذوب هستند که آنها را برای کاربردهایی مانند ماژول های خورشیدی، دستگاه های RF و دستگاه های قدرت دقیق ایده آل می کند. غلظت اکسیژن و ناخالصی های کربن در ویفرهای FZ کم است و نیتروژن به طور ویژه برای بهبود استحکام مکانیکی آن اضافه می شود.
مورد | استدلال | نمونه استعلام |
مقدار: |
| 100 عدد |
روش رشد: | منطقه شناور | FZ |
قطر: | 50/75/100/150/200/300 میلی متر | 100 میلی متر |
نوع/دوپانت: | نوع P / نوع N / ذاتی | نوع N |
جهت گیری: | <1-0-0>/<1-1-0>/<1-1-1>或其它 | <100> |
مقاومت: | 100 تا 30000 اهم سانتی متر | 3000 اهم سانتی متر |
ضخامت: | 275 ~ 775 um | 500 میلی متر |
پایان: | SSP/DSP | DSP |
آپارتمان: | بریدگی/دو تخت نیمه استاندارد | شکاف |
کمان / تار: | <10 میکرومتر | <40m |
TTV: | <5 میکرومتر | <20m |
درجه: | Prime / Test / Dummy | نخست |