ویفر اکسید حرارتی سیلیکون

توضیح کوتاه:

WeiTai Energy Technology Co. Ltd. یک تامین کننده پیشرو در زمینه ویفر و مواد مصرفی نیمه هادی پیشرفته است.ما به ارائه محصولات با کیفیت بالا، قابل اعتماد و نوآورانه برای تولید نیمه هادی، صنعت فتوولتائیک و سایر زمینه های مرتبط اختصاص داده شده ایم.

خط تولید ما شامل محصولات گرافیتی با پوشش SiC/TaC و محصولات سرامیکی است که شامل مواد مختلفی مانند کاربید سیلیکون، نیترید سیلیکون، و اکسید آلومینیوم و غیره است.

در حال حاضر، ما تنها تولید کننده ای هستیم که خلوص 99.9999٪ پوشش SiC و 99.9٪ کاربید سیلیکون متبلور شده را ارائه می دهیم.حداکثر طول پوشش SiC که می توانیم 2640 میلی متر انجام دهیم.

برای ما ایمیل بفرستید

جزئیات محصول

برچسب های محصول

لایه اکسید حرارتی یک ویفر سیلیکونی یک لایه اکسید یا لایه سیلیسی است که بر روی سطح خالی یک ویفر سیلیکونی در شرایط دمای بالا با یک عامل اکسید کننده تشکیل شده است.لایه اکسید حرارتی ویفر سیلیکونی معمولاً در یک کوره لوله افقی رشد می کند و دامنه دمای رشد به طور کلی 900 درجه سانتیگراد تا 1200 درجه سانتیگراد است و دو حالت رشد "اکسیداسیون مرطوب" و "اکسیداسیون خشک" وجود دارد.لایه اکسید حرارتی یک لایه اکسیدی "رشد یافته" است که همگنی و استحکام دی الکتریک بالاتری نسبت به لایه اکسید رسوب شده CVD دارد.لایه اکسید حرارتی یک لایه دی الکتریک عالی به عنوان یک عایق است.در بسیاری از دستگاه های مبتنی بر سیلیکون، لایه اکسید حرارتی به عنوان یک لایه مسدود کننده دوپینگ و دی الکتریک سطحی نقش مهمی ایفا می کند.

نکات: نوع اکسیداسیون

1. اکسیداسیون خشک

سیلیکون با اکسیژن واکنش می دهد و لایه اکسید به سمت لایه پایه حرکت می کند.اکسیداسیون خشک باید در دمای 850 تا 1200 درجه سانتیگراد انجام شود و سرعت رشد آن کم است که می توان از آن برای رشد دروازه عایق MOS استفاده کرد.هنگامی که یک لایه اکسید سیلیکون با کیفیت بالا و فوق نازک مورد نیاز است، اکسیداسیون خشک بر اکسیداسیون مرطوب ترجیح داده می شود.

ظرفیت اکسیداسیون خشک: 15 نانومتر تا 300 نانومتر (150 آمپر تا 3000 آمپر)

2. اکسیداسیون مرطوب

در این روش از مخلوطی از هیدروژن و اکسیژن با خلوص بالا برای سوزاندن در دمای 1000 درجه سانتیگراد استفاده می شود و در نتیجه بخار آب تولید می شود تا یک لایه اکسید تشکیل شود.اگرچه اکسیداسیون مرطوب نمی تواند لایه اکسیداسیون با کیفیت بالایی را مانند اکسیداسیون خشک ایجاد کند، اما به اندازه کافی برای استفاده به عنوان یک منطقه ایزوله، در مقایسه با اکسیداسیون خشک دارای یک مزیت واضح این است که سرعت رشد بالاتری دارد.

ظرفیت اکسیداسیون مرطوب: 50 نانومتر تا 15 میکرومتر (500 آمپر تا 15 میکرومتر)

3. روش خشک - روش مرطوب - روش خشک

در این روش، اکسیژن خشک خالص در مرحله اولیه در کوره اکسیداسیون آزاد می شود، هیدروژن در وسط اکسیداسیون اضافه می شود و هیدروژن در انتها ذخیره می شود تا اکسیداسیون با اکسیژن خشک خالص ادامه یابد تا ساختار اکسیداسیون متراکمتری ایجاد شود. فرآیند متداول اکسیداسیون مرطوب به شکل بخار آب.

4. اکسیداسیون TEOS

تکنیک اکسیداسیون 氧化工艺	اکسیداسیون مرطوب یا اکسیداسیون خشک 湿法氧化/干法氧化
قطر 硅片直径	2 اینچ / 3 اینچ / 4 اینچ / 6 اینچ / 8 اینچ / 12 اینچ 英寸
ضخامت اکسید 氧化层厚度	100 ~ 15 میکرومتر 10 نانومتر تا 15 میکرومتر
تحمل 公差范围	+/- 5٪
سطح 表面	اکسیداسیون یک طرفه (SSO) / اکسیداسیون دو طرفه (DSO) 单面氧化/双面氧化
کوره 氧化炉类型	کوره لوله افقی 水平管式炉
گاز 气体类型	گاز هیدروژن و اکسیژن 氢氧混合气体
درجه حرارت 氧化温度	900 ~ 1200 ℃ 900 تا 1200摄氏度
ضریب شکست 折射率	1.456