بسترهای نیترید گالیوم | ویفرهای GaN

توضیح کوتاه:

نیترید گالیم (GaN)، مانند مواد کاربید سیلیکون (SiC)، متعلق به نسل سوم مواد نیمه هادی با پهنای باند وسیع، با پهنای شکاف باند بزرگ، رسانایی حرارتی بالا، نرخ مهاجرت اشباع الکترون بالا، و میدان الکتریکی شکست بالا و فوق العاده است. مشخصات.دستگاه‌های GaN طیف گسترده‌ای از چشم‌اندازهای کاربردی در زمینه‌های فرکانس بالا، سرعت بالا و تقاضای انرژی بالا مانند نورپردازی کم مصرف LED، نمایشگر لیزری، وسایل نقلیه انرژی جدید، شبکه هوشمند، ارتباطات 5G دارند.


جزئیات محصول

برچسب های محصول

ویفرهای GaN

مواد نیمه هادی نسل سوم عمدتاً شامل SiC، GaN، الماس و غیره است، زیرا عرض شکاف باند آن (به عنوان مثال) بزرگتر یا برابر با 2.3 الکترون ولت (eV) است که به عنوان مواد نیمه هادی شکاف باند گسترده نیز شناخته می شود.در مقایسه با مواد نیمه هادی نسل اول و دوم، مواد نیمه هادی نسل سوم دارای مزایای هدایت حرارتی بالا، میدان الکتریکی شکست بالا، نرخ مهاجرت الکترون اشباع بالا و انرژی پیوند بالا هستند که می تواند الزامات جدید فناوری الکترونیکی مدرن را برآورده کند. دما، قدرت بالا، فشار بالا، فرکانس بالا و مقاومت در برابر تشعشع و سایر شرایط سخت.چشم انداز کاربرد مهمی در زمینه های دفاع ملی، هوانوردی، هوا فضا، اکتشاف نفت، ذخیره سازی نوری و غیره دارد و می تواند اتلاف انرژی را تا بیش از 50 درصد در بسیاری از صنایع استراتژیک مانند ارتباطات پهن باند، انرژی خورشیدی، خودروسازی، کاهش دهد. روشنایی نیمه هادی و شبکه هوشمند می تواند حجم تجهیزات را تا بیش از 75 درصد کاهش دهد که برای توسعه علم و فناوری انسانی اهمیت دارد.

 

مورد 项目

GaN-FS-CU-C50

GaN-FS-CN-C50

GaN-FS-C-SI-C50

قطر
晶圆直径

1 ± 50.8 میلی متر

ضخامت厚度

25 ± 350 میکرومتر

گرایش
晶向

زاویه صفحه C (0001) نسبت به محور M 0.35 ± 0.15 درجه

پرایم فلت
主定位边

(1-100) 0 ± 0.5 درجه، 1 ± 16 میلی متر

آپارتمان ثانویه
次定位边

(11-20) 0 ± 3 درجه، 8 ± 1 میلی متر

رسانایی
导电性

نوع N

نوع N

نیمه عایق

مقاومت (300K)
电阻率

< 0.1 Ω·cm

<0.05 Ω·cm

> 106 Ω·cm

تی تی وی
平整度

≤ 15 میکرومتر

تعظیم
弯曲度

≤ 20 میکرومتر

ناهمواری سطح صورت Ga
Ga面粗糙度

<0.2 نانومتر (صیقل داده شده)؛

یا کمتر از 0.3 نانومتر (صیقل و درمان سطحی برای اپیتاکسی)

ناهمواری سطح صورت N
N面粗糙度

0.5 ~ 1.5 میکرومتر

گزینه: 1 ~ 3 نانومتر (زمین خوب)؛< 0.2 نانومتر (صیقل داده شده)

تراکم دررفتگی
位错密度

از 1 × 105 تا 3 × 106 cm-2 (محاسبه شده توسط CL)*

تراکم نقص ماکرو
缺陷密度

< 2 سانتی متر-2

منطقه قابل استفاده
有效面积

> 90% (عدم حذف عیوب لبه و ماکرو)

می توان با توجه به نیاز مشتری، ساختار مختلف سیلیکون، یاقوت کبود، ورق همپایی GaN مبتنی بر SiC سفارشی کرد.

محل کار Semicera محل کار Semicera 2 دستگاه تجهیزات پردازش CNN، تمیز کردن شیمیایی، پوشش CVD خدمات ما


  • قبلی:
  • بعد: