Semicera با افتخار ارائه می کندGa2O3بستر، یک ماده پیشرفته که آماده است انقلابی در الکترونیک قدرت و اپتوالکترونیک ایجاد کند.اکسید گالیوم (Ga2O3) بسترهابه دلیل باند گپ فوق العاده گسترده خود شناخته شده اند و برای دستگاه های پرقدرت و فرکانس بالا ایده آل هستند.
ویژگی های کلیدی:
• باند گپ فوق عریض: Ga2O3 باندگپ تقریباً 4.8 eV را ارائه می دهد که به طور قابل توجهی توانایی آن را برای کنترل ولتاژها و دماهای بالا در مقایسه با مواد سنتی مانند سیلیکون و GaN افزایش می دهد.
• ولتاژ شکست بالا: با یک میدان شکست استثنایی،Ga2O3بستربرای دستگاه هایی که نیاز به عملکرد ولتاژ بالا دارند، مناسب است و کارایی و قابلیت اطمینان بیشتری را تضمین می کند.
• پایداری حرارتی: پایداری حرارتی برتر این ماده، آن را برای کاربرد در محیط‌های شدید مناسب می‌سازد و عملکرد را حتی در شرایط سخت حفظ می‌کند.
• کاربردهای همه کاره: ایده آل برای استفاده در ترانزیستورهای قدرت با راندمان بالا، دستگاه های الکترونیک نوری UV و موارد دیگر، که پایه ای قوی برای سیستم های الکترونیکی پیشرفته فراهم می کند.
آینده فناوری نیمه هادی ها را با Semicera تجربه کنیدGa2O3بستر. این بستر برای پاسخگویی به نیازهای رو به رشد الکترونیک پرقدرت و فرکانس بالا، استاندارد جدیدی برای عملکرد و دوام ایجاد می کند. برای ارائه راه حل های نوآورانه برای چالش برانگیزترین برنامه های شما به Semicera اعتماد کنید.
| موارد | تولید | تحقیق کنید | ساختگی |
| پارامترهای کریستال | |||
| چند تایپ | 4H | ||
| خطای جهت گیری سطح | <11-20 > 0.15±4 درجه | ||
| پارامترهای الکتریکی | |||
| دوپانت | نیتروژن نوع n | ||
| مقاومت | 0.015-0.025 اهم · سانتی متر | ||
| پارامترهای مکانیکی | |||
| قطر | 0.2±150.0 میلی متر | ||
| ضخامت | 25±350 میکرومتر | ||
| جهت گیری مسطح اولیه | [1-100] ± 5 درجه | ||
| طول تخت اولیه | 47.5±1.5 میلی متر | ||
| آپارتمان ثانویه | هیچ کدام | ||
| تی تی وی | ≤5 میکرومتر | ≤10 میکرومتر | ≤15 میکرومتر |
| LTV | ≤3 میکرومتر (5mm*5mm) | ≤5 میکرومتر (5mm*5mm) | ≤10 میکرومتر (5mm*5mm) |
| تعظیم | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| پیچ و تاب | ≤35 میکرومتر | ≤45 میکرومتر | ≤55 میکرومتر |
| زبری جلو (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| ساختار | |||
| تراکم میکرولوله | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ناخالصی های فلزی | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| کیفیت جلو | |||
| جلو | Si | ||
| پرداخت سطح | سی فیس CMP | ||
| ذرات | ≤60ea/ویفر (اندازه≥0.3μm) | NA | |
| خراش | ≤5ea/mm. طول تجمعی ≤قطر | طول تجمعی≤2*قطر | NA |
| پوست پرتقال / حفره / لکه / مخطط / ترک / آلودگی | هیچ کدام | NA | |
| تراشه های لبه / فرورفتگی / شکستگی / صفحات شش گوش | هیچ کدام | ||
| نواحی پلی تایپ | هیچ کدام | سطح تجمعی ≤20٪ | سطح تجمعی≤30٪ |
| علامت گذاری لیزری جلو | هیچ کدام | ||
| کیفیت برگشت | |||
| پایان پشت | C-face CMP | ||
| خراش | ≤5ea/mm، طول تجمعی≤2*قطر | NA | |
| عیوب پشت (تراشه های لبه / فرورفتگی) | هیچ کدام | ||
| زبری پشت | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| علامت گذاری لیزری پشت | 1 میلی متر (از لبه بالا) | ||
| لبه | |||
| لبه | چمفر | ||
| بسته بندی | |||
| بسته بندی | Epi-ready با بسته بندی وکیوم بسته بندی کاست چند ویفر | ||
| *نکته: "NA" به معنای عدم درخواست است موارد ذکر نشده ممکن است به SEMI-STD اشاره داشته باشند. | |||
