روش تهیه پوشش سیلیکون کاربید

در حال حاضر روش های تهیه پوشش SiC عمدتاً شامل روش ژل سل، روش جاسازی، روش پوشش برس، روش پاشش پلاسما، روش واکنش شیمیایی گاز (CVR) و روش رسوب شیمیایی بخار (CVD) می باشد.

روش جاسازی:

این روش نوعی تف جوشی فاز جامد با درجه حرارت بالا است که عمدتاً از مخلوط پودر Si و پودر C به عنوان پودر جاسازی استفاده می کند، ماتریس گرافیت در پودر جاسازی قرار می گیرد و پخت در دمای بالا در گاز بی اثر انجام می شود. و در نهایت پوشش SiC روی سطح ماتریس گرافیت به دست می آید.فرآیند ساده است و ترکیب بین پوشش و بستر خوب است، اما یکنواختی پوشش در جهت ضخامت ضعیف است، که به راحتی سوراخ های بیشتری ایجاد می کند و منجر به مقاومت در برابر اکسیداسیون ضعیف می شود.

روش پوشش برس:

روش پوشش برس عمدتاً به این صورت است که مواد خام مایع را بر روی سطح ماتریس گرافیت مالش می دهند و سپس مواد خام را در دمای معینی برای تهیه پوشش پخت می کنند.فرآیند ساده و هزینه کم است، اما پوشش تهیه شده با روش پوشش برس در ترکیب با بستر ضعیف است، یکنواختی پوشش ضعیف است، پوشش نازک است و مقاومت در برابر اکسیداسیون پایین است، و برای کمک به روش های دیگری نیاز است. آی تی.

روش اسپری پلاسما:

روش پاشش پلاسما عمدتاً به این صورت است که مواد خام ذوب شده یا نیمه ذوب شده را با تفنگ پلاسما روی سطح ماتریس گرافیتی اسپری می کنند و سپس جامد و چسبانده می شوند تا یک پوشش ایجاد شود.روش کار ساده است و می تواند یک پوشش نسبتاً متراکم کاربید سیلیکون تهیه کند، اما پوشش کاربید سیلیکون تهیه شده توسط این روش اغلب بسیار ضعیف است و منجر به مقاومت ضعیف در برابر اکسیداسیون می شود، بنابراین به طور کلی برای تهیه پوشش کامپوزیت SiC برای بهبود استفاده می شود. کیفیت پوشش

روش ژل سل:

روش ژل-سل عمدتاً برای تهیه یک محلول سل یکنواخت و شفاف است که سطح ماتریکس را می پوشاند، به صورت ژل خشک می شود و سپس برای به دست آوردن یک پوشش، تف جوشی می شود.عملکرد این روش ساده و کم هزینه است، اما پوشش تولید شده دارای کاستی هایی مانند مقاومت در برابر شوک حرارتی پایین و ترک آسان است، بنابراین نمی توان از آن به طور گسترده استفاده کرد.

واکنش شیمیایی گاز (CVR):

CVR عمدتاً با استفاده از پودر Si و SiO2 برای تولید بخار SiO در دمای بالا، پوشش SiC تولید می کند و یک سری واکنش های شیمیایی روی سطح زیرلایه مواد C رخ می دهد.پوشش SiC تهیه شده با این روش به بستر چسبیده است، اما دمای واکنش بالاتر و هزینه آن بیشتر است.

رسوب بخار شیمیایی (CVD):

در حال حاضر CVD تکنولوژی اصلی برای تهیه پوشش SiC روی سطح بستر است.فرآیند اصلی مجموعه ای از واکنش های فیزیکی و شیمیایی مواد واکنش دهنده فاز گاز بر روی سطح بستر است و در نهایت پوشش SiC با رسوب بر روی سطح زیرلایه تهیه می شود.پوشش SiC تهیه شده با فناوری CVD به سطح زیرلایه چسبانده شده است که می تواند به طور موثر مقاومت اکسیداسیون و مقاومت فرسایشی مواد زیرلایه را بهبود بخشد، اما زمان رسوب این روش طولانی تر است و گاز واکنش دارای سمیت خاصی است. گاز.