پوشش SiCقسمت نیمه ماه گرافیتیک جزء کلیدی است که در فرآیندهای تولید نیمه هادی، به ویژه برای تجهیزات همپایی SiC استفاده می شود.ما از فناوری ثبت شده خود برای ساخت قطعه نیمه ماه با خلوص بسیار بالا، یکنواختی پوشش خوب و عمر مفید عالی و همچنین مقاومت شیمیایی بالا و خواص پایداری حرارتی استفاده می کنیم.
