Semicera'sپاروهای SiCبرای حداقل انبساط حرارتی طراحی شده‌اند و ثبات و دقت را در فرآیندهایی که دقت ابعادی آنها حیاتی است، فراهم می‌کنند. این باعث می شود آنها برای برنامه هایی ایده آل باشندویفردر معرض چرخه های گرمایش و سرمایش مکرر قرار می گیرند، زیرا قایق ویفر یکپارچگی ساختاری خود را حفظ می کند و عملکرد ثابت را تضمین می کند.
ترکیب Semicera'sپاروهای انتشار کاربید سیلیکونورود به خط تولید شما، به لطف خواص حرارتی و شیمیایی برتر، قابلیت اطمینان فرآیند شما را افزایش می دهد. این پاروها برای فرآیندهای انتشار، اکسیداسیون و بازپخت عالی هستند و تضمین می‌کنند که ویفرها با دقت و دقت در هر مرحله کار می‌شوند.
نوآوری در هسته Semicera استدست و پا زدن SiCطراحی این پاروها به گونه‌ای طراحی شده‌اند که به طور یکپارچه در تجهیزات نیمه‌رسانای موجود قرار می‌گیرند و راندمان هندلینگ را افزایش می‌دهند. ساختار سبک وزن و طراحی ارگونومیک نه تنها حمل و نقل ویفر را بهبود می بخشد، بلکه زمان خرابی عملیات را نیز کاهش می دهد و در نتیجه تولید ساده می شود.
| خواص فیزیکی کاربید سیلیسیم تبلور مجدد | |
| اموال | ارزش معمولی |
| دمای کاری (درجه سانتیگراد) | 1600 درجه سانتی گراد (با اکسیژن)، 1700 درجه سانتی گراد (محیط کاهنده) |
| محتوای SiC | > 99.96٪ |
| محتوای Si رایگان | < 0.1٪ |
| چگالی ظاهری | 2.60-2.70 گرم در سانتی متر3 |
| تخلخل ظاهری | < 16% |
| قدرت فشاری | > 600 مگاپاسکال |
| قدرت خمش سرد | 80-90 مگاپاسکال (20 درجه سانتیگراد) |
| قدرت خمش گرم | 90-100 مگاپاسکال (1400 درجه سانتیگراد) |
| انبساط حرارتی @1500 درجه سانتیگراد | 4.70 10-6/ درجه سانتیگراد |
| هدایت حرارتی @1200 درجه سانتیگراد | 23 W/m•K |
| مدول الاستیک | 240 گیگا پاسکال |
| مقاومت در برابر شوک حرارتی | فوق العاده خوب |
